Entegris®(应特格 / 英特格 / 因特格)产品代理 · 半导体高纯过滤与材料方案📞 +86 155 2706 2747  |  ✉ [email protected]
首页 / 产品中心 / 液体过滤器 · 滤芯 · 滤壳
LIQUID FILTERS · CARTRIDGES · HOUSINGS

液体过滤器 · 滤芯 · 滤壳

Entegris 液体过滤全系列目录(共 126 个产品系列,含滤壳与歧管),覆盖光刻胶、湿法化学品、超纯水与 CMP 浆料。光刻胶相关系列优先展示。所有产品提供型号确认、资料、交期与报价支持。

面向 EUV/ArF/KrF 光刻胶、显影液、BARC、NTD/RRC 溶剂与高粘度 PI 的本体过滤与点供(POU)过滤。光刻胶相关应用优先推荐以下系列,详见光刻胶过滤专题

Entegris Microgard™ Gen 1 UPE 过滤器

Microgard™ Gen 1 UPE 过滤器

面向 5nm 及以下先进制程,针对光化学品中微小污染物的高截留优化

详情 →
Entegris Azora® 光化学品本体过滤器

Azora® 光化学品本体过滤器

突破性过滤介质,提升关键光化学品性能的新一代本体过滤

详情 →
Entegris Microgard™ UPE/UPX 过滤器

Microgard™ UPE/UPX 过滤器

溶剂型本体光化学品过滤,高流量与稳定颗粒截留

详情 →
Entegris Microgard™ UC 过滤器

Microgard™ UC 过滤器

同级最优的洁净本体光化学品过滤,流量性能出色

详情 →
Entegris Microgard™ Plus / Plus LE / LE 尼龙过滤器

Microgard™ Plus / Plus LE / LE 尼龙过滤器

洁净溶剂型本体光化学品过滤,尼龙膜高流量方案

详情 →
Entegris Microgard™ Advanced 尼龙过滤器

Microgard™ Advanced 尼龙过滤器

先进尼龙膜过滤器,可选多种预清洗工艺,适配光化学品

详情 →
Entegris Microgard™ PI 过滤器

Microgard™ PI 过滤器

UPE 或尼龙结构可选,面向 PI(聚酰亚胺)类高要求过滤

详情 →
Entegris Impact® 8G 过滤器

Impact® 8G 过滤器

超洁净点供(POU)光刻胶与光化学品溶剂过滤器,Track 端主力型号

详情 →
Entegris Impact® 2 V2 过滤器

Impact® 2 V2 过滤器

洁净点供光化学品过滤器,流量性能稳健,快速换芯

详情 →
Entegris Impact® HV 过滤器

Impact® HV 过滤器

点供高粘度光化学品过滤器,配歧管使用,适配厚胶/PI

详情 →
Entegris Impact® 2 歧管(8G / 2-V2)

Impact® 2 歧管(8G / 2-V2)

免工具快速换芯歧管,更换过程无化学品泄漏

详情 →
Entegris Impact® 8G 冲洗壳

Impact® 8G 冲洗壳

空壳冲洗件,用于管路冲洗与系统调试阶段替代滤芯

详情 →
Entegris Optimizer® D 过滤器

Optimizer® D 过滤器

点供光化学品过滤器,污染物截留优异、滞留体积低

详情 →
Entegris Optimizer® DEV 过滤器

Optimizer® DEV 过滤器

显影液(TMAH 等)专用一次性点供过滤器

详情 →
Entegris Optimizer® DI 过滤器

Optimizer® DI 过滤器

点供 DI 水应用光化学品过滤器

详情 →
Entegris Optimizer® HV 过滤器

Optimizer® HV 过滤器

机台端高粘度光化学品过滤器,截留与流量兼顾

详情 →
Entegris Optimizer® ST 过滤器

Optimizer® ST 过滤器

点供 DI 水与光化学品溶剂过滤器

详情 →
Entegris Optimizer® AT 光化学品过滤器

Optimizer® AT 光化学品过滤器

点供/机台端先进光化学品过滤方案

详情 →
Entegris Optimizer® ST2 歧管

Optimizer® ST2 歧管

过渡型光化学品供液系统流通装置,配 Optimizer 滤芯

详情 →
Entegris Optimizer® ST3 歧管

Optimizer® ST3 歧管

免工具快速换芯、无泄漏设计的新一代歧管

详情 →
Entegris Optimizer® 实验室过滤器

Optimizer® 实验室过滤器

研发实验台光化学品过滤,支持配方设计与放大

详情 →
Entegris Eximor® SV1 过滤器

Eximor® SV1 过滤器

先进洁净点供过滤器,面向 NTD/RRC 溶剂应用

详情 →
Entegris Eximor® SV5 过滤器

Eximor® SV5 过滤器

优异污染物截留与快速启动性能,NTD/RRC 溶剂点供

详情 →
Entegris Eximor® SV1 冲洗壳

Eximor® SV1 冲洗壳

空壳冲洗件,管路冲洗阶段使用

详情 →
Entegris Savana® 1-2-3 PDP Plus 过滤器

Savana® 1-2-3 PDP Plus 过滤器

机台端光刻胶与油墨过滤,截留性能好、性价比高

详情 →

覆盖强酸强碱、稀酸碱、剥离液、超纯水/DI 水、大宗化学品、FPD 面板、油墨以及制药/食品/实验室应用的全系列过滤器与滤芯。

Entegris Torrento® X 过滤器

Torrento® X 过滤器

水系、出气及强酸强碱化学品的同级最优过滤,<10nm 制程

详情 →
Entegris Torrento® AT 过滤器

Torrento® AT 过滤器

水系/出气/强酸碱化学品的先进过滤

详情 →
Entegris Torrento® S 过滤器

Torrento® S 过滤器

高性能颗粒防护,面向先进湿法化学品

详情 →
Entegris QuickChange® NX 过滤器

QuickChange® NX 过滤器

快换式强酸碱/出气化学品过滤器,减少更换时间与暴露

详情 →
Entegris Fluorogard® AT 过滤器

Fluorogard® AT 过滤器

强腐蚀水系化学品与溶剂过滤,化学兼容性广

详情 →
Entegris Fluorogard® NX 过滤器

Fluorogard® NX 过滤器

强腐蚀化学品与溶剂过滤,洁净度与寿命兼顾

详情 →
Entegris Fluorogard® FP / FP-HP 过滤器

Fluorogard® FP / FP-HP 过滤器

机台端 DI 水过滤,颗粒与金属离子截留能力强

详情 →
Entegris Fluorogard® PE 过滤器

Fluorogard® PE 过滤器

大宗化学品高流量过滤的高性价比方案

详情 →
Entegris Fluorogard® RS 过滤器

Fluorogard® RS 过滤器

机台端剥离液(Resist Stripper)过滤,流量与截留兼顾

详情 →
Entegris Etchgard™ HP / HPX 过滤器

Etchgard™ HP / HPX 过滤器

亲水高性能膜,稀酸碱刻蚀槽液过滤,提升槽液质量

详情 →
Entegris Guardian™ DEV/HPM 过滤器

Guardian™ DEV/HPM 过滤器

低温稀碱(显影类)化学品洁净过滤,高流量

详情 →
Entegris Guardian™ PS 过滤器

Guardian™ PS 过滤器

低温关键稀释水系化学品的先进过滤

详情 →
Entegris Intercept® HP/HS 过滤器

Intercept® HP/HS 过滤器

同级最优低温稀酸过滤器,流量性能优异

详情 →
Entegris Astera™ 液体过滤器

Astera™ 液体过滤器

高纯稀酸碱缺陷控制方案,提升晶圆良率

详情 →
Entegris Trinzik™ UPW 超纯水过滤器

Trinzik™ UPW 超纯水过滤器

厂务与工艺超纯水缺陷源控制,高性能高流量

详情 →
Entegris Trinzik™ UPW T015 过滤器

Trinzik™ UPW T015 过滤器

大宗超纯水/DI 水厂务过滤,高性能设计

详情 →
Entegris Trinzik™ High Flow 过滤器

Trinzik™ High Flow 过滤器

高流量水系过滤,可靠控制致缺陷污染物

详情 →
Entegris Trinzik™ PEH 水系工艺过滤器

Trinzik™ PEH 水系工艺过滤器

大流量水系工艺应用,提升产线良率

详情 →
Entegris Trinzik™ PSP 稀释工艺过滤器

Trinzik™ PSP 稀释工艺过滤器

批式湿法工艺高流量水系过滤

详情 →
Entegris Trinzik™ XFX 过滤器

Trinzik™ XFX 过滤器

高流量膜+全 PFA/PTFE 结构,面向严苛化学环境

详情 →
Entegris Rinsegard® HP 过滤器

Rinsegard® HP 过滤器

机台端 DI 水过滤,颗粒与金属离子截留强

详情 →
Entegris Fluoroline® S 过滤器

Fluoroline® S 过滤器

小体积点供酸/碱/溶剂过滤器,截留性能好

详情 →
Entegris Fluoroline® DF Plus 过滤器

Fluoroline® DF Plus 过滤器

液晶(LCD)点供过滤,颗粒控制可靠

详情 →
Entegris FlowPlane™ 线性过滤技术

FlowPlane™ 线性过滤技术

同级最优线性过滤技术,大幅提升通量

详情 →
Entegris Panelgard® 226 Plus 过滤器

Panelgard® 226 Plus 过滤器

面板机台端 DI 水/稀酸碱过滤,高流量

详情 →
Entegris Panelgard® 334 过滤器

Panelgard® 334 过滤器

机台端工艺流体高流量筒式过滤器(FPD)

详情 →
Entegris Panelgard® 334 PTFE Plus 过滤器

Panelgard® 334 PTFE Plus 过滤器

机台端 PTFE 高流量过滤,耐强腐蚀(FPD)

详情 →
Entegris Panelgard® Ex 过滤器

Panelgard® Ex 过滤器

面板大宗通用化学品过滤,超高流量

详情 →
Entegris Panelgard® PDP 1-2-3 过滤器

Panelgard® PDP 1-2-3 过滤器

机台端光化学品与溶剂过滤(FPD),高流量

详情 →
Entegris Panelgard® PS 过滤器

Panelgard® PS 过滤器

机台端 DI 水过滤(FPD),截留可靠

详情 →
Entegris ProcessGard® CJ 过滤器

ProcessGard® CJ 过滤器

预过滤:去除中大颗粒/高浓度颗粒负载

详情 →
Entegris ProcessGard® CN 过滤器

ProcessGard® CN 过滤器

DI 水与稀酸预过滤,去除中细颗粒

详情 →
Entegris ProcessGard® NP 过滤器

ProcessGard® NP 过滤器

多层褶式深层过滤,无纺 PP 膜,适配多种液体

详情 →
Entegris ProcessGard® PDP 过滤器

ProcessGard® PDP 过滤器

机台端光化学品与溶剂过滤,高流量

详情 →
Entegris ProcessGard® PDP IJ 过滤器

ProcessGard® PDP IJ 过滤器

喷墨油墨点供过滤,截留性能强

详情 →
Entegris ProcessGard® PDP Plus 过滤器

ProcessGard® PDP Plus 过滤器

PP 多层深层褶式:彩色光刻胶/油墨/浆料等

详情 →
Entegris ProcessGard® PDP Plus 一次性过滤器

ProcessGard® PDP Plus 一次性过滤器

彩色光刻胶、浆料等一次性褶式过滤

详情 →
Entegris ProcessGard® PDP Plus Mini 一次性过滤器

ProcessGard® PDP Plus Mini 一次性过滤器

小型多层褶式深层过滤,无纺 PP 膜

详情 →
Entegris ProcessGard® PES/PP/PS 过滤器

ProcessGard® PES/PP/PS 过滤器

点供溶剂、DI 水与稀酸碱过滤,高流量

详情 →
Entegris ProcessGard® PP Plus 过滤器

ProcessGard® PP Plus 过滤器

高性价比 PP 过滤器,化学兼容性广

详情 →
Entegris ProcessGard® PP Plus 一次性过滤器

ProcessGard® PP Plus 一次性过滤器

电子行业多种液体的经济型一次性过滤

详情 →
Entegris ProcessGard® PS Plus 过滤器

ProcessGard® PS Plus 过滤器

弱酸碱与超纯 DI 水清洗过滤

详情 →
Entegris ProcessGard® PS Plus 一次性过滤器

ProcessGard® PS Plus 一次性过滤器

微电子工艺流体一次性过滤

详情 →
Entegris ProcessGard® PTFE Plus 过滤器

ProcessGard® PTFE Plus 过滤器

机台/点供端 PTFE 过滤,耐久与洁净兼顾

详情 →
Entegris ProcessGard® PTFE Plus 一次性过滤器

ProcessGard® PTFE Plus 一次性过滤器

机台端 PTFE 一次性过滤,耐强腐蚀

详情 →
Entegris ProcessGard® Lab Disk 圆盘过滤器

ProcessGard® Lab Disk 圆盘过滤器

实验室快速高效液体过滤

详情 →
Entegris Savana® AT 过滤器

Savana® AT 过滤器

非出气化学品与溶剂的高性价比过滤(中等温度)

详情 →
Entegris Savana® HF 过滤器

Savana® HF 过滤器

RO 前高流量预过滤,延长系统寿命

详情 →
Entegris Savana® IHF Plus 高流量过滤器

Savana® IHF Plus 高流量过滤器

大流量预过滤,提升性能延长寿命

详情 →
Entegris Savana® MB 过滤器

Savana® MB 过滤器

PP 熔喷滤芯,过滤稳定一致

详情 →
Entegris Savana® MBV 过滤器

Savana® MBV 过滤器

PP 熔喷滤芯,深层截留

详情 →
Entegris Savana® PP 过滤器

Savana® PP 过滤器

机台端通用过滤,高流量

详情 →
Entegris Savana® PS Plus 过滤器

Savana® PS Plus 过滤器

机台端 DI 水过滤,高流量

详情 →
Entegris Savana® PTFE 过滤器

Savana® PTFE 过滤器

PTFE+PP 结构,耐久与洁净出色

详情 →
Entegris Savana® Lab 圆盘过滤器

Savana® Lab 圆盘过滤器

实验室酸碱溶剂澄清过滤,支持放大

详情 →
Entegris Savana® Lab IJ 圆盘过滤器

Savana® Lab IJ 圆盘过滤器

实验室油墨/感光材料过滤

详情 →
Entegris Savana® 半导体实验室圆盘过滤器

Savana® 半导体实验室圆盘过滤器

研发通用化学品过滤与工艺放大

详情 →
Entegris CNE/CSE/CNE-D 囊式过滤器

CNE/CSE/CNE-D 囊式过滤器

小体积液体的智能安全过滤

详情 →
Entegris CTP/CHP/CNP 系列囊式过滤器

CTP/CHP/CNP 系列囊式过滤器

小体积液体一次性安全过滤

详情 →
Entegris Pharmsteri™ II GHF PES 囊式过滤器

Pharmsteri™ II GHF PES 囊式过滤器

PES 0.22µm,宽化学条件下流速优异(生命科学)

详情 →
Entegris Pharmsteri™ II GHC PES 囊式过滤器

Pharmsteri™ II GHC PES 囊式过滤器

复杂料液高通量除菌过滤(生命科学)

详情 →
Entegris Pharmsteri™ PES 一次性过滤器

Pharmsteri™ PES 一次性过滤器

制药安全除菌的高性价比方案

详情 →

点供与本体浆料过滤,在去除大颗粒的同时保留研磨粒径分布,覆盖先进节点 CMP 与后 CMP 清洗。

Entegris Planargard® NMB 过滤器

Planargard® NMB 过滤器

先进节点 CMP 浆料过滤,纳米纤维连续熔喷介质

详情 →
Entegris Planargard® APR 本体 CMP 过滤器

Planargard® APR 本体 CMP 过滤器

新一代浆料过滤,兼控大颗粒与细颗粒

详情 →
Entegris Planarcap® APR 过滤器

Planarcap® APR 过滤器

点供 CMP 浆料过滤,大小颗粒兼控

详情 →
Entegris Planarcap® NMB 过滤器

Planarcap® NMB 过滤器

同级最优点供浆料过滤,超高纳污容量

详情 →
Entegris Solaris® NMB 过滤器

Solaris® NMB 过滤器

机台端浆料大颗粒去除的最优方案

详情 →
Entegris Solaris® APR CMP 一次性过滤器

Solaris® APR CMP 一次性过滤器

专利多层深层介质,先进颗粒控制

详情 →
Entegris Solaris® 歧管

Solaris® 歧管

便于安装/改造 Solaris 过滤技术的歧管组件

详情 →
Entegris ProcessGard® DSP 过滤器

ProcessGard® DSP 过滤器

机台/点供端浆料过滤,截留与流量可靠

详情 →

标准筒式滤芯(需配滤壳使用),覆盖 PES/PP/PTFE 膜材,应用于微电子化学品、超纯水、制药与食品饮料过滤。光化学品专用滤芯(Microgard 等)见光刻胶标签。

Entegris Savana® 334 PTFE 筒式滤芯

Savana® 334 PTFE 筒式滤芯

PTFE 褶式膜筒式滤芯,耐腐蚀高洁净

详情 →
Entegris LES 亲水 PES 筒式滤芯

LES 亲水 PES 筒式滤芯

微电子化学品与超纯水高通量污染控制

详情 →
Entegris LPP 系列 PP 筒式滤芯

LPP 系列 PP 筒式滤芯

经济高效去除颗粒与胶体污染物

详情 →
Entegris LPAP 系列 PP 筒式滤芯

LPAP 系列 PP 筒式滤芯

广谱预过滤应用优化,通量高

详情 →
Entegris LEP 系列 PP 筒式滤芯

LEP 系列 PP 筒式滤芯

化学品与水处理经济型过滤

详情 →
Entegris LPPF 系列 PP 筒式滤芯

LPPF 系列 PP 筒式滤芯

更高通量与去除效率(制药应用)

详情 →
Entegris LPT 系列 PTFE 筒式滤芯

LPT 系列 PTFE 筒式滤芯

空气/气体除菌过滤(制药)

详情 →
Entegris PSTS 系列 PES 筒式滤芯

PSTS 系列 PES 筒式滤芯

PP 结构件+PES 膜,稳定可靠

详情 →
Entegris ProcessGard® DEP 筒式滤芯

ProcessGard® DEP 筒式滤芯

PP 熔喷深层滤芯,化学兼容性优

详情 →
Entegris Pharmsteri™ PES 筒式滤芯

Pharmsteri™ PES 筒式滤芯

制药工艺可靠除菌过滤

详情 →
Entegris Pharmsteri™ APFP PP 筒式滤芯

Pharmsteri™ APFP PP 筒式滤芯

高效去除颗粒与胶体(制药预过滤)

详情 →
Entegris Pharmsteri™ AHC PES 囊式/筒式滤芯

Pharmsteri™ AHC PES 囊式/筒式滤芯

复杂料液高通量过滤(生命科学)

详情 →
Entegris Pharmsteri™ APFS PES 筒式滤芯

Pharmsteri™ APFS PES 筒式滤芯

实验室放大研究到量产平滑衔接

详情 →
Entegris FBP 筒式滤芯

FBP 筒式滤芯

食品饮料高效经济预过滤

详情 →
Entegris FBS 筒式滤芯

FBS 筒式滤芯

食品饮料液体除菌过滤

详情 →
Entegris FBT 筒式滤芯

FBT 筒式滤芯

食品饮料空气/气体除菌过滤

详情 →
Entegris Panelgard® PDP 筒式滤芯

Panelgard® PDP 筒式滤芯

颜料分散型光刻胶、酸碱与 DI 水过滤(FPD)

详情 →

与滤芯配套的滤壳与歧管:高洁净聚合物滤壳、不锈钢单芯/多芯滤壳,覆盖本体到机台端的安装需求。滤芯插口(2-226/2-222/平口)必须与滤壳匹配。

Entegris Chemlock® 滤壳

Chemlock® 滤壳

节省空间的安全滤壳系统,高洁净化学品应用

详情 →
Entegris Chemlock® 滤壳歧管

Chemlock® 滤壳歧管

多滤碗集成安装,占用空间更小

详情 →
Entegris Savana® PP 滤壳

Savana® PP 滤壳

经济型 PP 塑料滤壳,兼容性广

详情 →
Entegris Savana® PP 滤壳附件

Savana® PP 滤壳附件

Savana PP 滤壳配套附件系列

详情 →
Entegris Panelgard® Ex 滤壳套件

Panelgard® Ex 滤壳套件

超高流量本体过滤滤壳,适配多种化学品

详情 →
Entegris Panelgard® 334 PP 滤壳套件

Panelgard® 334 PP 滤壳套件

面板大宗通用化学品滤壳,超高流量

详情 →
Entegris ProcessGard® PL 半燕尾滤壳套件

ProcessGard® PL 半燕尾滤壳套件

不锈钢单芯本体滤壳(半导体)

详情 →
Entegris 226 HP 半燕尾滤壳套件

226 HP 半燕尾滤壳套件

高压不锈钢滤壳:强酸碱与 DI 水本体过滤

详情 →
Entegris 334 HP 半燕尾滤壳套件

334 HP 半燕尾滤壳套件

高压不锈钢强酸碱/DI 水滤壳

详情 →
Entegris SC 多芯滤壳套件

SC 多芯滤壳套件

不锈钢多芯滤壳,4/7/11/13 芯配置

详情 →
Entegris SF 多芯滤壳套件

SF 多芯滤壳套件

不锈钢多芯滤壳,3–18 芯配置

详情 →
Entegris SI 多芯滤壳套件

SI 多芯滤壳套件

不锈钢多芯滤壳,19–45 芯大流量配置

详情 →
Entegris GRP 多芯滤壳

GRP 多芯滤壳

玻纤增强聚酯多芯滤壳,水处理应用

详情 →
本页产品信息整理自 Entegris 官方产品目录,仅作选型参考;具体规格、精度等级与接口组合请以原厂当前数据表为准。部分停产/升级型号我们可协助确认替代方案。

常见问题

这么多系列,怎么快速确定型号?
最快方式:提供现用滤芯完整型号或标签照片 + 使用介质。新应用则按'介质 → 工艺位置(本体/机台端/点供)→ 流量压降 → 接口'四步缩小范围,我们协助向原厂确认最终型号。
光刻胶应用优先看哪些系列?
本体过滤看 Microgard/Azora 系列;Track 点供看 Impact、Optimizer、Eximor 系列;高粘度(厚胶/PI)看 Impact HV、Optimizer HV;显影液看 Optimizer DEV、Guardian DEV。
滤芯和滤壳如何配套?
滤芯插口(2-226、2-222、平口等)必须与滤壳匹配。高洁净化学品选 Chemlock 等聚合物滤壳,高温高压选不锈钢滤壳,大流量选 SC/SF/SI 多芯滤壳。提供介质与流量,我们给出整套配置。
页面没列到的型号能供货吗?
可以。本页收录 Entegris 液体过滤与滤壳两个官方分类的主要产品系列,具体型号(精度/尺寸/接口组合)数以千计,提供型号即可询价。

相关页面

光刻胶过滤专题

EUV/ArF/KrF 光刻胶过滤选型要点与整线方案。

液体纯化器

金属离子去除与 ppt 级金杂管控。

电子化学品应用

化学品生产线过滤纯化整线配套。

需要选型建议或正式报价?

提供完整型号或工况参数,我们将在 24 小时内响应;具体库存、价格与交期以实时确认为准。