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液体过滤器 · 滤芯 · 滤壳

Entegris 液体过滤全系列目录(共 126 个产品系列,含滤壳与歧管),覆盖光刻胶、湿法化学品、超纯水与 CMP 浆料。光刻胶相关系列优先展示。所有产品提供型号确认、资料、交期与报价支持。

面向 EUV/ArF/KrF 光刻胶、显影液、BARC、NTD/RRC 溶剂与高粘度 PI 的本体过滤与点供(POU)过滤。光刻胶相关应用优先推荐以下系列,详见光刻胶过滤专题

Entegris Microgard™ Gen 1 UPE 过滤器

Microgard™ Gen 1 UPE 过滤器

面向 5nm 及以下先进制程,针对光化学品中微小污染物的高截留优化

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Entegris Azora® 光化学品本体过滤器

Azora® 光化学品本体过滤器

突破性过滤介质,提升关键光化学品性能的新一代本体过滤

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Entegris Microgard™ UPE/UPX 过滤器

Microgard™ UPE/UPX 过滤器

用于光刻胶、光化学品与溶剂本体过滤的疏水 UPE/HDPE 筒式系列;0.05–1.0 µm、UPE/UPX 长度和密封按完整型号确认

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Entegris Microgard™ UC 过滤器

Microgard™ UC 过滤器

用于本体光化学品和溶剂过滤,UC 清洗等级面向颗粒、金属和有机析出物控制;截留等级与流量按型号确认

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Entegris Microgard™ Plus / Plus LE / LE 尼龙过滤器

Microgard™ Plus / Plus LE / LE 尼龙过滤器

洁净溶剂型本体光化学品过滤,尼龙膜高流量方案

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Entegris Microgard™ Advanced 尼龙过滤器

Microgard™ Advanced 尼龙过滤器

用于光刻胶、溶剂和其他辅助光化学品本体预过滤的尼龙/HDPE 系列;5/10/20 nm,清洗等级与尺寸按完整型号确认

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Entegris Microgard™ PI 过滤器

Microgard™ PI 过滤器

UPE 或尼龙结构可选,面向 PI(聚酰亚胺)类高要求过滤

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Entegris Impact® 8G 过滤器

Impact® 8G 过滤器

用于 EUV、ArF-i/D、KrF 光刻胶、SOG/SOC、溶剂及新型光化学品点供过滤;1–20 nm、膜材与 8G/8G-L 结构按完整型号确认

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Entegris Impact® 2 V2 过滤器

Impact® 2 V2 过滤器

洁净点供光化学品过滤器,流量性能稳健,快速换芯

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Entegris Impact® HV 过滤器

Impact® HV 过滤器

点供高粘度光化学品过滤器,配歧管使用,适配厚胶/PI

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Entegris Impact® 2 歧管(8G / 2-V2)

Impact® 2 歧管(8G / 2-V2)

免工具快速换芯歧管,更换过程无化学品泄漏

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Entegris Impact® 8G 冲洗壳

Impact® 8G 冲洗壳

空壳冲洗件,用于管路冲洗与系统调试阶段替代滤芯

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Entegris Optimizer® D 过滤器

Optimizer® D 过滤器

用于光刻胶、稀释剂与溶剂的点供 UPE 过滤器;D/D LE/D300/D600/D PR 结构与 3 nm–1 µm 等级按型号确认

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Entegris Optimizer® DEV 过滤器

Optimizer® DEV 过滤器

用于正性显影液与 DI 水点供的亲水 UPE 系列;ST/DEV 囊式结构、10 nm–0.1 µm 与工况按型号确认

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Entegris Optimizer® DI 过滤器

Optimizer® DI 过滤器

点供 DI 水应用光化学品过滤器

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Entegris Optimizer® HV 过滤器

Optimizer® HV 过滤器

用于聚酰亚胺等高黏度光化学品的机台端 UPE 筒式过滤器;0.5/1 µm,40-stack 壳体与工况按型号确认

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Entegris Optimizer® ST 过滤器

Optimizer® ST 过滤器

点供 DI 水与光化学品溶剂过滤器

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Entegris Optimizer® AT 光化学品过滤器

Optimizer® AT 光化学品过滤器

面向 NTD、nBA 及其他强溶剂的点供/机台端 PTFE/PFA 过滤器;2/7/10 nm,清洗等级按介质确认

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Entegris Optimizer® ST2 歧管

Optimizer® ST2 歧管

过渡型光化学品供液系统流通装置,配 Optimizer 滤芯

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Entegris Optimizer® ST3 歧管

Optimizer® ST3 歧管

免工具快速换芯、无泄漏设计的新一代歧管

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Entegris Optimizer® 实验室过滤器

Optimizer® 实验室过滤器

研发实验台光化学品过滤,支持配方设计与放大

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Entegris Eximor® SV1 过滤器

Eximor® SV1 过滤器

用于 TEL 机台 RRC/NTD 溶剂点供的 UPE/HDPE 一次性过滤器;PGMEA/PGME、110 cc 与 40°C 工况按 EX1KCL0K1 和配方确认

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Entegris Eximor® SV5 过滤器

Eximor® SV5 过滤器

用于 TEL LITHIUS Pro 系列 NTD/RRC 溶剂点供的 PTFE 基膜/PFA 一次性过滤器;SV5/SV5 Plus、环己酮与 40°C 工况按型号确认

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Entegris Eximor® SV1 冲洗壳

Eximor® SV1 冲洗壳

空壳冲洗件,管路冲洗阶段使用

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Entegris Savana® 1-2-3 PDP Plus 过滤器

Savana® 1-2-3 PDP Plus 过滤器

机台端光刻胶与油墨过滤,截留性能好、性价比高

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覆盖强酸强碱、稀酸碱、剥离液、超纯水/DI 水、大宗化学品、FPD 面板、油墨以及制药/食品/实验室应用的全系列过滤器与滤芯。

Entegris Torrento® X 过滤器

Torrento® X 过滤器

面向先进酸、碱和清洗化学品的 PTFE/PFA 过滤系列,提供 2 nm 等截留等级;适用工况按具体型号确认

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Entegris Torrento® AT 过滤器

Torrento® AT 过滤器

面向水系、出气及高温酸碱化学品的预湿非脱湿 PTFE/PFA 过滤系列;当前 Datasheet 主列 12 nm,工况按结构确认

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Entegris Torrento® S 过滤器

Torrento® S 过滤器

用于溶剂及溶剂/水混合体系的预湿非脱湿 PTFE/PFA 过滤系列;10 nm,干式或预湿选项按介质确认

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Entegris QuickChange® NX 过滤器

QuickChange® NX 过滤器

快换式强酸碱/出气化学品过滤器,减少更换时间与暴露

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Entegris Fluorogard® AT 过滤器

Fluorogard® AT 过滤器

强腐蚀水系化学品与溶剂过滤,化学兼容性广

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Entegris Fluorogard® NX 过滤器

Fluorogard® NX 过滤器

用于先进湿法蚀刻/清洗、酸碱与溶剂的疏水 PTFE/PFA 过滤器;15 nm–10 µm,SPM、SC1、SC2 等高出气溶液不推荐使用

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Entegris Fluorogard® FP / FP-HP 过滤器

Fluorogard® FP / FP-HP 过滤器

机台端 DI 水过滤,颗粒与金属离子截留能力强

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Entegris Fluorogard® PE 过滤器

Fluorogard® PE 过滤器

用于大宗化学品与高黏度光刻胶的疏水 PTFE/HDPE 过滤器;截留等级与工况按具体型号确认

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Entegris Fluorogard® RS 过滤器

Fluorogard® RS 过滤器

机台端剥离液(Resist Stripper)过滤,流量与截留兼顾

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Entegris Etchgard™ HP / HPX 过滤器

Etchgard™ HP / HPX 过滤器

用于 HF/BOE 循环槽的亲水 UPE/HDPE 过滤器;0.05/0.1 µm,HP/HPX 结构与长度按完整型号确认

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Entegris Guardian™ DEV/HPM 过滤器

Guardian™ DEV/HPM 过滤器

低温稀碱(显影类)化学品洁净过滤,高流量

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Entegris Guardian™ PS 过滤器

Guardian™ PS 过滤器

低温关键稀释水系化学品的先进过滤

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Entegris Intercept® HP/HS 过滤器

Intercept® HP/HS 过滤器

用于 BOE/DHF 等弱酸、DI 水和再循环蚀刻槽的亲水膜液体过滤系列;过滤等级、膜材与流量按具体 HP/HPX/HPM/HSM 配置确认

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Entegris Astera™ 液体过滤器

Astera™ 液体过滤器

用于 BOE/DHF、NH4OH、TMAH 与 DI 水的 10 nm PAS 膜过滤器;适用于 Bulk/POU 低温工艺,良率效果按实际验证确认

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Entegris Trinzik™ UPW 超纯水过滤器

Trinzik™ UPW 超纯水过滤器

面向厂务与机台端的超纯水/DI 水过滤;亲水 PTFE/PP,15 nm–0.1 µm,接口、长度与密封按完整型号确认

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Entegris Trinzik™ UPW T015 过滤器

Trinzik™ UPW T015 过滤器

面向厂务与机台端的超纯水/DI 水过滤;表面改性亲水 PTFE/HDPE,Sub-10 nm,长度与密封按完整型号确认

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Entegris Trinzik™ High Flow 过滤器

Trinzik™ High Flow 过滤器

高流量水系过滤,可靠控制致缺陷污染物

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Entegris Trinzik™ PEH 水系工艺过滤器

Trinzik™ PEH 水系工艺过滤器

面向 HDD、FPD 等水系工艺的高流量亲水 PTFE 过滤器;良率效果需按具体工况验证

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Entegris Trinzik™ PSP 稀释工艺过滤器

Trinzik™ PSP 稀释工艺过滤器

批式湿法工艺高流量水系过滤

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Entegris Trinzik™ XFX 过滤器

Trinzik™ XFX 过滤器

用于本体化学品终过滤、CDS 及单片/批式机台的预湿非脱湿 PTFE/PFA 10 nm 系列;ATE/AT、筒式/Chem-Line 工况按型号确认

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Entegris Rinsegard® HP 过滤器

Rinsegard® HP 过滤器

机台端 DI 水过滤,颗粒与金属离子截留强

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Entegris Fluoroline® S 过滤器

Fluoroline® S 过滤器

小体积点供酸/碱/溶剂过滤器,截留性能好

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Entegris Fluoroline® DF Plus 过滤器

Fluoroline® DF Plus 过滤器

液晶(LCD)点供过滤,颗粒控制可靠

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Entegris FlowPlane™ 线性过滤技术

FlowPlane™ 线性过滤技术

采用矩形线性流路的点供/机台端过滤技术;提供 7 nm、2 nm 和小于 1 nm 等截留等级,流量与适用工况按具体配置确认

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Entegris Panelgard® 226 Plus 过滤器

Panelgard® 226 Plus 过滤器

面板机台端 DI 水/稀酸碱过滤,高流量

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Entegris Panelgard® 334 过滤器

Panelgard® 334 过滤器

机台端工艺流体高流量筒式过滤器(FPD)

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Entegris Panelgard® 334 PTFE Plus 过滤器

Panelgard® 334 PTFE Plus 过滤器

机台端 PTFE 高流量过滤,耐强腐蚀(FPD)

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Entegris Panelgard® Ex 过滤器

Panelgard® Ex 过滤器

面板大宗通用化学品过滤,超高流量

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Entegris Panelgard® PDP 1-2-3 过滤器

Panelgard® PDP 1-2-3 过滤器

机台端光化学品与溶剂过滤(FPD),高流量

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Entegris Panelgard® PS 过滤器

Panelgard® PS 过滤器

机台端 DI 水过滤(FPD),截留可靠

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Entegris ProcessGard® CJ 过滤器

ProcessGard® CJ 过滤器

预过滤:去除中大颗粒/高浓度颗粒负载

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Entegris ProcessGard® CN 过滤器

ProcessGard® CN 过滤器

DI 水与稀酸预过滤,去除中细颗粒

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Entegris ProcessGard® NP 过滤器

ProcessGard® NP 过滤器

用于平板显示湿法与电子零件电镀预过滤的多级渐密度深层系列;0.5–40 µm,筒式/一次性材料与工况按型号确认

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Entegris ProcessGard® PDP 过滤器

ProcessGard® PDP 过滤器

机台端光化学品与溶剂过滤,高流量

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Entegris ProcessGard® PDP IJ 过滤器

ProcessGard® PDP IJ 过滤器

喷墨油墨点供过滤,截留性能强

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Entegris ProcessGard® PDP Plus 过滤器

ProcessGard® PDP Plus 过滤器

PP 多层深层褶式:彩色光刻胶/油墨/浆料等

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Entegris ProcessGard® PDP Plus 一次性过滤器

ProcessGard® PDP Plus 一次性过滤器

彩色光刻胶、浆料等一次性褶式过滤

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Entegris ProcessGard® PDP Plus Mini 一次性过滤器

ProcessGard® PDP Plus Mini 一次性过滤器

小型多层褶式深层过滤,无纺 PP 膜

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Entegris ProcessGard® PES/PP/PS 过滤器

ProcessGard® PES/PP/PS 过滤器

点供溶剂、DI 水与稀酸碱过滤,高流量

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Entegris ProcessGard® PP Plus 过滤器

ProcessGard® PP Plus 过滤器

用于电子行业酸、碱、溶剂、油墨及工艺水的全 PP 过滤器;名义截留等级与密封配置按型号确认

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Entegris ProcessGard® PP Plus 一次性过滤器

ProcessGard® PP Plus 一次性过滤器

电子行业多种液体的经济型一次性过滤

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Entegris ProcessGard® PS Plus 过滤器

ProcessGard® PS Plus 过滤器

弱酸碱与超纯 DI 水清洗过滤

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Entegris ProcessGard® PS Plus 一次性过滤器

ProcessGard® PS Plus 一次性过滤器

微电子工艺流体一次性过滤

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Entegris ProcessGard® PTFE Plus 过滤器

ProcessGard® PTFE Plus 过滤器

机台/点供端 PTFE 过滤,耐久与洁净兼顾

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Entegris ProcessGard® PTFE Plus 一次性过滤器

ProcessGard® PTFE Plus 一次性过滤器

机台端 PTFE 一次性过滤,耐强腐蚀

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Entegris ProcessGard® Lab Disk 圆盘过滤器

ProcessGard® Lab Disk 圆盘过滤器

实验室快速高效液体过滤

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Entegris Savana® AT 过滤器

Savana® AT 过滤器

面向酸、碱及其他工艺化学品的 PTFE/PFA 筒式过滤器;30 nm–10 µm,液体/气体规格不可混用

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Entegris Savana® HF 过滤器

Savana® HF 过滤器

用于海水淡化与工业水处理 RO 前预过滤的 6 英寸褶式 PP 高流量滤芯;流量与寿命按长度、等级和工况确认

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Entegris Savana® IHF Plus 高流量过滤器

Savana® IHF Plus 高流量过滤器

用于海水淡化及工业水处理预过滤/CIP 的 6 英寸 PP 高流量滤芯;流量、压降与寿命按型号和工况确认

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Entegris Savana® MB 过滤器

Savana® MB 过滤器

PP 熔喷滤芯,过滤稳定一致

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Entegris Savana® MBV 过滤器

Savana® MBV 过滤器

PP 熔喷滤芯,深层截留

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Entegris Savana® PP 过滤器

Savana® PP 过滤器

机台端通用过滤,高流量

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Entegris Savana® PS Plus 过滤器

Savana® PS Plus 过滤器

机台端 DI 水过滤,高流量

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Entegris Savana® PTFE 过滤器

Savana® PTFE 过滤器

PTFE+PP 结构,耐久与洁净出色

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Entegris Savana® Lab 圆盘过滤器

Savana® Lab 圆盘过滤器

实验室酸碱溶剂澄清过滤,支持放大

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Entegris Savana® Lab IJ 圆盘过滤器

Savana® Lab IJ 圆盘过滤器

实验室油墨/感光材料过滤

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Entegris Savana® 半导体实验室圆盘过滤器

Savana® 半导体实验室圆盘过滤器

研发通用化学品过滤与工艺放大

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Entegris CNE/CSE/CNE-D 囊式过滤器

CNE/CSE/CNE-D 囊式过滤器

小体积液体的智能安全过滤

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Entegris CTP/CHP/CNP 系列囊式过滤器

CTP/CHP/CNP 系列囊式过滤器

小体积液体一次性安全过滤

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Entegris Pharmsteri™ II GHF PES 囊式过滤器

Pharmsteri™ II GHF PES 囊式过滤器

PES 0.22µm,宽化学条件下流速优异(生命科学)

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Entegris Pharmsteri™ II GHC PES 囊式过滤器

Pharmsteri™ II GHC PES 囊式过滤器

复杂料液高通量除菌过滤(生命科学)

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Entegris Pharmsteri™ PES 一次性过滤器

Pharmsteri™ PES 一次性过滤器

制药安全除菌的高性价比方案

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点供与本体浆料过滤,在去除大颗粒的同时保留研磨粒径分布,覆盖先进节点 CMP 与后 CMP 清洗。

Entegris Planargard® NMB 过滤器

Planargard® NMB 过滤器

先进节点 CMP 浆料过滤,纳米纤维连续熔喷介质

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Entegris Planargard® APR 本体 CMP 过滤器

Planargard® APR 本体 CMP 过滤器

新一代浆料过滤,兼控大颗粒与细颗粒

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Entegris Planarcap® APR 过滤器

Planarcap® APR 过滤器

点供 CMP 浆料过滤,大小颗粒兼控

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Entegris Planarcap® NMB 过滤器

Planarcap® NMB 过滤器

用于 CMP 浆料最终点供位置的 PP 纳米纤维连续熔喷介质过滤器;截留等级、纳污容量与寿命表现按具体浆料和验证条件确认

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Entegris Solaris® NMB 过滤器

Solaris® NMB 过滤器

用于先进 CMP 浆料机台端大颗粒控制的 PP 纳米纤维连续熔喷过滤器;截留等级、连接与效果按浆料和型号确认

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Entegris Solaris® APR CMP 一次性过滤器

Solaris® APR CMP 一次性过滤器

专利多层深层介质,先进颗粒控制

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Entegris Solaris® 歧管

Solaris® 歧管

便于安装/改造 Solaris 过滤技术的歧管组件

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Entegris ProcessGard® DSP 过滤器

ProcessGard® DSP 过滤器

机台/点供端浆料过滤,截留与流量可靠

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标准筒式滤芯(需配滤壳使用),覆盖 PES/PP/PTFE 膜材,应用于微电子化学品、超纯水、制药与食品饮料过滤。光化学品专用滤芯(Microgard 等)见光刻胶标签。

Entegris Savana® 334 PTFE 筒式滤芯

Savana® 334 PTFE 筒式滤芯

PTFE 褶式膜筒式滤芯,耐腐蚀高洁净

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Entegris LES 亲水 PES 筒式滤芯

LES 亲水 PES 筒式滤芯

微电子化学品与超纯水高通量污染控制

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Entegris LPP 系列 PP 筒式滤芯

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经济高效去除颗粒与胶体污染物

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Entegris LPAP 系列 PP 筒式滤芯

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广谱预过滤应用优化,通量高

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化学品与水处理经济型过滤

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更高通量与去除效率(制药应用)

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PP 结构件+PES 膜,稳定可靠

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PP 熔喷深层滤芯,化学兼容性优

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制药工艺可靠除菌过滤

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食品饮料空气/气体除菌过滤

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颜料分散型光刻胶、酸碱与 DI 水过滤(FPD)

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与滤芯配套的滤壳与歧管:高洁净聚合物滤壳、不锈钢单芯/多芯滤壳,覆盖本体到机台端的安装需求。滤芯插口(2-226/2-222/平口)必须与滤壳匹配。

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Chemlock® 滤壳

节省空间的安全滤壳系统,高洁净化学品应用

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Entegris Chemlock® 滤壳歧管

Chemlock® 滤壳歧管

多滤碗集成安装,占用空间更小

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Entegris Savana® PP 滤壳

Savana® PP 滤壳

经济型 PP 塑料滤壳,兼容性广

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Entegris Savana® PP 滤壳附件

Savana® PP 滤壳附件

Savana PP 滤壳配套附件系列

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Entegris Panelgard® Ex 滤壳套件

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超高流量本体过滤滤壳,适配多种化学品

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Entegris Panelgard® 334 PP 滤壳套件

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面板大宗通用化学品滤壳,超高流量

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Entegris ProcessGard® PL 半燕尾滤壳套件

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不锈钢单芯本体滤壳(半导体)

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高压不锈钢滤壳:强酸碱与 DI 水本体过滤

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Entegris 334 HP 半燕尾滤壳套件

334 HP 半燕尾滤壳套件

高压不锈钢强酸碱/DI 水滤壳

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Entegris SC 多芯滤壳套件

SC 多芯滤壳套件

不锈钢多芯滤壳,4/7/11/13 芯配置

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Entegris SF 多芯滤壳套件

SF 多芯滤壳套件

不锈钢多芯滤壳,3–18 芯配置

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SI 多芯滤壳套件

不锈钢多芯滤壳,19–45 芯大流量配置

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GRP 多芯滤壳

玻纤增强聚酯多芯滤壳,水处理应用

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本页产品信息整理自 Entegris 官方产品目录,仅作选型参考;具体规格、精度等级与接口组合请以原厂当前数据表为准。部分停产/升级型号我们可协助确认替代方案。

常见问题

这么多系列,怎么快速确定型号?
最快方式:提供现用滤芯完整型号或标签照片 + 使用介质。新应用则按'介质 → 工艺位置(本体/机台端/点供)→ 流量压降 → 接口'四步缩小范围,我们协助向原厂确认最终型号。
光刻胶应用优先看哪些系列?
本体过滤看 Microgard/Azora 系列;Track 点供看 Impact、Optimizer、Eximor 系列;高粘度(厚胶/PI)看 Impact HV、Optimizer HV;显影液看 Optimizer DEV、Guardian DEV。
滤芯和滤壳如何配套?
滤芯插口(2-226、2-222、平口等)必须与滤壳匹配。高洁净化学品选 Chemlock 等聚合物滤壳,高温高压选不锈钢滤壳,大流量选 SC/SF/SI 多芯滤壳。提供介质与流量,我们给出整套配置。
页面没列到的型号能供货吗?
可以。本页收录 Entegris 液体过滤与滤壳两个官方分类的主要产品系列,具体型号(精度/尺寸/接口组合)数以千计,提供型号即可询价。

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