用于 TEL LITHIUS Pro 系列 NTD/RRC 溶剂点供的 PTFE 基膜/PFA 一次性过滤器；SV5/SV5 Plus、环己酮与 40°C 工况按型号确认
用于 TEL LITHIUS Pro 系列 NTD/RRC 溶剂点供的 PTFE 基膜/PFA 一次性过滤器；SV5/SV5 Plus、环己酮与 40°C 工况按型号确认
资料来源：Entegris Eximor SV5 官方产品页与 Datasheet；复核日期：2026-09-14。SV5 与 SV5 Plus 的过滤介质和环己酮适用边界不同；原厂的缺陷、良率、启动与相对性能描述不构成众甫对具体产线的结果保证，须按机台、配方与完整订货号验证。
| 项目 | 说明 |
|---|---|
| 产品线 | 液体过滤器 · 滤芯 · 滤壳 |
| 产品系列 | Eximor® SV5 过滤器 |
| 应用范围 | TEL LITHIUS Pro 系列 clean track 的 NTD 与 RRC 溶剂点供；不扩展为其他机台的通用适配承诺 |
| 材料 | PTFE 基膜；PFA 外壳、中心杆与支撑；Kalrez 全氟弹性体 O 形圈（OF） |
| SV5 / SV5 Plus 边界 | SV5 主要面向 NTD 溶剂且原厂资料明确不适用于环己酮；SV5 Plus 使用不同过滤介质，原厂资料将其列为环己酮方案 |
| 官方列明溶剂 | nBA、EL、PGMEA、PGME、NMP 等多数光化学溶剂；具体配方仍需 Entegris 确认 |
| 容积 | 滞留体积 50 mL |
| 工况 | 25°C 最大入口压力 0.39 MPa；最大正向/反向压差 0.29 MPa；最高工作温度 40°C |
| 订货号 | EX5TT00K1 为 Eximor SV5；EX5TS00K1 为 Eximor SV5 Plus |
| 资料版本 | Entegris 4461-8100ENT-1221；2026-09-14 复核 |
| 选型参数 | TEL LITHIUS Pro 机台、NTD/RRC 溶剂与 SDS、是否含环己酮、启动/冲洗配方、流量、压差、温度和完整订货号 |