用于 EUV、ArF-i/D、KrF 光刻胶、SOG/SOC、溶剂及新型光化学品点供过滤；1–20 nm、膜材与 8G/8G-L 结构按完整型号确认
用于 EUV、ArF-i/D、KrF 光刻胶、SOG/SOC、溶剂及新型光化学品点供过滤；1–20 nm、膜材与 8G/8G-L 结构按完整型号确认
资料来源：Entegris Impact 8G Filter Datasheet；复核日期：2026-09-13。原厂缺陷、流量、启动时间、寿命和洁净度描述基于其材料、设计与测试条件，不构成现场效果保证；1–20 nm、Azora/UPE/Nylon/Duo、Standard/UC/UCP 与 8G/8G-L 不是任意组合，须按当前订货表、化学品和完整型号确认。
| 项目 | 说明 |
|---|---|
| 产品线 | 液体过滤器 · 滤芯 · 滤壳 |
| 产品系列 | Impact® 8G 过滤器 |
| 应用范围 | 光刻机台点供；原厂资料列出 EUV、ArF-i/D、KrF 光刻胶，SOG、SOC、新型化学品及溶剂 |
| 膜材/结构 | Azora、UPE、Nylon 或 Duo 膜；HDPE 支撑、中心杆与外壳；全氟弹性体 O 形圈 |
| 截留/清洗组合 | UPE：Standard 3/5/10/20 nm 与 Oktolex G1，UCP 1/3/5/10 nm；Nylon：Standard 10/20 nm、UC 10 nm、UCP 5/20 nm；Duo：Standard 5/10 nm、UCP 1/3/5/10 nm；Azora 使用 G1/G2 标记；并非任意组合均可订购 |
| 膜面积/容积 | 8G 膜面积约 800–1,500 cm²、滞留体积 55 cc；8G-L 膜面积约 1,600–3,000 cm²、滞留体积 110 cc，具体取决于膜材与清洗等级 |
| 工况 | 25°C 最大入口压力 0.34 MPa，最大正向/反向压差 0.27 MPa；最高工作温度 40°C |
| 润湿/接口 | 原厂资料列出 PGMEA、PGME 及其他光化学溶剂可自发润湿；使用 Impact 2 filter manifold，化学兼容性仍须按配方核对 |
| 资料版本 | Entegris 4414-8079DSA-1225；2026-09-13 复核 |
| 选型参数 | 光刻胶或光化学品类型、工艺节点/位置、膜材、清洗等级、截留等级、8G 或 8G-L、流量、允许压差、温度、歧管与完整型号 |