GAS
Corrosive Gas Contamination
解析水分、腐蚀与二次金属污染来源，以及气源端与 POU 两级纯化、耐腐蚀过滤的配置思路。
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Photoresist Filtration
EUV/ArF/KrF 光刻胶、显影液、BARC 与点供(POU)过滤,从化学品生产到 Track 供液的选型要点。
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Metal Ion Removal
湿法化学品痕量金属杂质的来源分析与全流程管控:纯化、包装、管路、过滤四环节。
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MOCVD Applications
MO 源、氢化物与载气系统的过滤纯化方案,面向 LED、GaN/SiC 化合物半导体外延产线。
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Electronic Chemicals
电子级溶剂、酸碱、清洗液生产线的过滤、纯化、灌装与包装整线方案。
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CDS/SDS Engineering & OEM
化学品/浆料供应系统工程与半导体设备 OEM 的过滤部件、管阀件批量配套。
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