Entegris FOUP 晶圆传输盒光罩盒 Reticle Pod 封装托盘

EUV Reticle Pods · Product Guide

1010 Series 与 EUV Pod NX 规格对比资料

基于 Entegris 公开资料整理双 Pod 架构、Pellicle 配置、SEMI E152 相关表述、识别追溯、自动化、公开尺寸及型号信息；未公开字段已明确标注。

1010 SeriesEUV Pod NX6 页 PDF

具体 P/N、设备适配与资格、价格、交期及库存请按型号、项目或询价确认。

FOUP 与光罩盒采购通常需确认产线设备兼容清单(load port、光刻机型号),chip tray 需确认器件尺寸图纸。可提供图纸由我们协助匹配标准型号或定制方案。

chip tray 可以定制吗?

可以。标准 H20/H44 系列覆盖常见器件尺寸,特殊尺寸可按器件图纸定制,需确认器件外形、厚度、防静电等级与耐温要求。

FOUP 采购需要确认什么?

晶圆尺寸与槽数、load port 兼容性(SEMI 标准)、RFID/条码要求、颜色与门型,以及是否需要 N₂ 吹扫功能。提供产线设备清单可加快确认。