Optimizer® D 过滤器

Liquid Filters / Cartridges / Housings

用于光刻胶、稀释剂与溶剂的点供 UPE 过滤器；D/D LE/D300/D600/D PR 结构与 3 nm–1 µm 等级按型号确认

液体过滤器滤芯/滤壳Entegris

资料来源：Entegris Optimizer Filters Datasheet；复核日期：2026-09-07。D、D LE、D300/D600 与 D PR/D PR-L 的膜结构、等级、面积和接口不同；原厂截留、滞留体积和微气泡描述不等于现场缺陷或良率保证，具体适用性按完整型号和项目验证确认。

产品规格与应用

项目	说明
产品线	液体过滤器 · 滤芯 · 滤壳
产品系列	Optimizer® D 过滤器
应用范围	光刻工艺的光刻胶以及化学制造中的光刻胶、稀释剂和溶剂；点供/机台端小至中等流量
膜与结构	D 为疏水对称 UPE，D LE 为疏水非对称 UPE；D300/D600 为小体积格式；D PR/D PR-L 为 PP 中心杆/外壳结构
截留等级	D：10/20/30 nm、0.05/0.1/0.2 µm；D LE：3/5/10 nm；D300/D600 与 D PR 系列另有指定等级，不可跨结构套用
接口	主体为 1/4 英寸 compression seal；D PR-L 可用 3/8 英寸入出口；部分 D PR 配置提供 Super Type Pillar 或 Flowell
压力/温度	25°C 最大工作压力 0.34 MPa；D/D LE 及 D PR/D PR-L 最大正反向压差 0.27 MPa，D300/D600 为 0.24 MPa；最高 60°C
预湿边界	当前资料说明 UPE 膜无需预湿；仍需根据实际化学品和系统启动程序验证
资料版本	Entegris 4418-7436ENT-0422；2026-09-07 复核
选型参数	光刻胶/稀释剂/溶剂、工艺节点、设备位置、流量、允许压差、截留等级、D/D LE/D300/D600/D PR 结构、接口与完整型号

常见问题

Optimizer D 与 D LE 有什么区别？

D 使用疏水对称 UPE 膜，当前列出 10/20/30 nm 及 0.05/0.1/0.2 µm；D LE 使用疏水非对称 UPE 膜，当前列出 3/5/10 nm。两者不能只按一个“孔径”值互换。

Optimizer D 能否从实验或小体积应用直接放大？

当前 Datasheet 提供 V-47、C47、D300/D600 到 D/D LE/D PR 的放大路径，但这只是候选基础。放大时仍需保持可比的膜类型、介质、流量/压差、颗粒方法和接口，并用项目数据验证。

Datasheet 下载

Datasheet - Optimizer® Filters ↗

如果已有完整型号,请把型号或标签照片发给我们,我们会协助确认对应 datasheet、替代型号、交期和报价。

Optimizer® D 过滤器