用于 BOE/DHF 等弱酸、DI 水和再循环蚀刻槽的亲水膜液体过滤系列;过滤等级、膜材与流量按具体 HP/HPX/HPM/HSM 配置确认
用于 BOE/DHF 等弱酸、DI 水和再循环蚀刻槽的亲水膜液体过滤系列;过滤等级、膜材与流量按具体 HP/HPX/HPM/HSM 配置确认
资料链接来自 Entegris 官方网站。具体订货号、接口、精度与兼容性请以原厂当前 datasheet 和最终确认结果为准。
| 项目 | 说明 |
|---|---|
| 产品线 | 液体过滤器 · 滤芯 · 滤壳 |
| 产品系列 | Intercept® HP/HS 过滤器 |
| 主要用途 | 用于 BOE/DHF 等弱酸、DI 水和再循环蚀刻槽的亲水膜液体过滤系列;过滤等级、膜材与流量按具体 HP/HPX/HPM/HSM 配置确认 |
| 选型参数 | 介质、流量、温度、压力、过滤精度、接口/长度/密封形式、是否配套滤壳 |