用于 CMP 浆料最终点供位置的 PP 纳米纤维连续熔喷介质过滤器；截留等级、纳污容量与寿命表现按具体浆料和验证条件确认
用于 CMP 浆料最终点供位置的 PP 纳米纤维连续熔喷介质过滤器；截留等级、纳污容量与寿命表现按具体浆料和验证条件确认
资料链接来自 Entegris 官方网站。具体订货号、接口、精度与兼容性请以原厂当前 datasheet 和最终确认结果为准。
| 项目 | 说明 |
|---|---|
| 产品线 | 液体过滤器 · 滤芯 · 滤壳 |
| 产品系列 | Planarcap® NMB 过滤器 |
| 主要用途 | 用于 CMP 浆料最终点供位置的 PP 纳米纤维连续熔喷介质过滤器；截留等级、纳污容量与寿命表现按具体浆料和验证条件确认 |
| 选型参数 | 介质、流量、温度、压力、过滤精度、接口/长度/密封形式、是否配套滤壳 |