用于先进湿法蚀刻/清洗、酸碱与溶剂的疏水 PTFE/PFA 过滤器；15 nm–10 µm，SPM、SC1、SC2 等高出气溶液不推荐使用
用于先进湿法蚀刻/清洗、酸碱与溶剂的疏水 PTFE/PFA 过滤器；15 nm–10 µm，SPM、SC1、SC2 等高出气溶液不推荐使用
资料来源：Entegris 官方产品页与 Fluorogard NX Datasheet；复核日期：2026-09-03。具体订货号、NXT/NXE 结构、截留等级、密封、工况与化学兼容性以原厂当前 Datasheet 和最终型号确认为准。
| 项目 | 说明 |
|---|---|
| 产品线 | 液体过滤器 · 滤芯 · 滤壳 |
| 产品系列 | Fluorogard® NX 过滤器 |
| 主要用途 | 用于先进湿法蚀刻/清洗、酸碱与溶剂的疏水 PTFE/PFA 过滤器；15 nm–10 µm，SPM、SC1、SC2 等高出气溶液不推荐使用 |
| 应用范围 | 先进湿法蚀刻/清洗（WEC）一次通过或循环过滤；中高流量化学品；本体化学品制造/BCDS；强腐蚀性水系化学品与高级溶剂 |
| 膜与结构 | 疏水 PTFE 膜；PTFE/PFA 氟树脂与热键合 PFA 结构；NXT/NXE 的支撑、长度、密封与连接形式按具体型号确认 |
| 截留等级 | 15、30 nm；0.05、0.1、0.2、0.5、1、5、10 µm；NXT 与 NXE 可选范围不同 |
| NXT 工况边界 | 当前 Datasheet 列出：最大工作压力 0.58 MPa @ 25°C；最大正向压差 0.44 MPa @ 25°C 或 0.05 MPa @ 180°C；最大反向压力 0.34 MPa @ 25°C；最高工作温度 180°C |
| 不适用边界 | Entegris 当前资料不推荐 Fluorogard NX 用于 SPM、SC1、SC2 等高出气溶液，并建议此类工况核对 QuickChange® NX |
| 预湿选项 | 可选预湿配置以 0.9% H₂O₂ 湿式供应；当前 Datasheet 列出该选项货架期为 1 年，使用和处理方式须按原厂资料确认 |
| 资料版本 | Entegris Fluorogard NX Datasheet（发布日 2022-08-23）；2026-09-03 复核 |
| 选型参数 | 介质、流量、温度、压力、过滤精度、接口/长度/密封形式、是否配套滤壳 |