| 子目录 | 用途 |
|---|---|
| In-Line PTFE / Nickel / Stainless / Alloy-22 Gas Filters | 按气体兼容性、温度压力和腐蚀性选择过滤介质。 |
| Surface Mount / Bulk / Vent Gas Filters | 气体面板、厂务大宗气体与排气口保护。 |
| Gas Diffusers | Chambergard™ 快速排气扩散,缩短 vent 时间并降低颗粒扰动。 |
| AMC Filters | VaporSorb™ 化学空气过滤器,控制酸、碱、有机物等 AMC。 |
PTFE 在线气体过滤器,适用于惰性气体和一般工艺气体的颗粒控制。
高性能 PTFE 在线气体过滤器,兼顾低压降、长寿命与颗粒过滤。
适用于多种半导体气体应用的 Wafergard SG 系列过滤器。
全金属镍膜在线过滤器,用于高温、高压、反应性或腐蚀性气体颗粒控制。
不锈钢在线气体过滤器,用于高压、高温和易安装场景。
Alloy-22 过滤器,面向腐蚀性和超高纯气体的在线颗粒控制。
表面安装气体过滤器,提供 C-Seal/W-Seal 等格式,用于紧凑型气柜或气体面板。
大宗气体过滤器与外壳,根据流量、压力和供气纯度配置。
排气/呼吸口气体过滤器,用于保护系统免受颗粒污染。
快速排气扩散器,在缩短 load lock / transfer chamber vent 时间的同时降低晶圆扰动与颗粒风险。
第二代快速排气扩散器,支持更高工作压力和长寿命循环。
Chambergard BGN 快速排气扩散器,用于腔体 vent 时的颗粒与扰流控制。
Track 工具 AMC 化学空气过滤器,用于酸、碱、可凝有机物等 airborne molecular contamination 控制。
工具端 AMC 过滤器,用于蚀刻等工艺环境中酸、碱、有机分子污染控制。
洁净室 AMC 化学空气过滤器,用于弱酸、强酸、有机物和碱性污染控制。
厂务高流量 AMC 化学过滤器,用于 advanced semiconductor 环境中的 airborne molecular contamination 控制。