| 子目录 | 用途 |
|---|---|
| In-Line PTFE / Nickel / Stainless / Alloy-22 Gas Filters | 按气体兼容性、温度压力和腐蚀性选择过滤介质。 |
| Surface Mount / Bulk / Vent Gas Filters | 气体面板、厂务大宗气体与排气口保护。 |
| Gas Diffusers | Chambergard™ 快速排气扩散,缩短 vent 时间并降低颗粒扰动。 |
| AMC Filters | VaporSorb™ 化学空气过滤器,控制酸、碱、有机物等 AMC。 |
紧凑型疏水 PTFE/PFA 在线气体过滤器；用于气柜、气体面板与机台内部，≥0.0015 µm，30 slpm 下 9 LRV
用于厂务 hook-up、VMB 与 POU 气体面板的疏水 PTFE/PFA 在线过滤器；去除等级 ≥0.0015 µm，压力与表面处理按型号确认
用于光伏与显示工艺气体、惰性气体和 CDA 的疏水 PTFE/PFA 在线过滤器；PA/PAL、F Micro/Mini XL、Max 的流量、截留、接口与工况按型号确认，不适用于 F₂
III NF-100 全金属镍膜在线过滤器；100 slpm 下 9 LRV，不推荐用于 CO₂、O₃及低浓度氢化物掺杂气体
全金属不锈钢在线气体过滤器；≥0.0015 µm、9 LRV，用于超高纯惰性/反应性气体和高温动态压力场景
烧结 Alloy-22 膜全金属在线过滤器；≥0.0015 µm、9 LRV，面向 CO、HBr、Cl₂等腐蚀性气体，不推荐用于 O₃
Wafergard SL/C2 表面安装气体过滤器；覆盖 1.125″ C-Seal 与 1.125″/1.5″ W-Seal，镍膜和不锈钢膜工况须按型号区分
大宗气体过滤系列；Wafergard III 镍膜用于高流量高温，II F-1500 为 PTFE/PFA 低压降路线，气体、流量、压力与接口按型号确认
排气/呼吸口气体过滤器,用于保护系统免受颗粒污染。
快速排气扩散器,在缩短 load lock / transfer chamber vent 时间的同时降低晶圆扰动与颗粒风险。
用于 load lock、transfer 等真空腔体的快速排气扩散器；烧结镍膜额定 100 万次循环，入口最高 4 bar
Chambergard BGN 快速排气扩散器,用于腔体 vent 时的颗粒与扰流控制。
Track 工具 AMC 化学空气过滤器,用于酸、碱、可凝有机物等 airborne molecular contamination 控制。
工具端 AMC 过滤器,用于蚀刻等工艺环境中酸、碱、有机分子污染控制。
洁净室 AMC 化学空气过滤器,用于弱酸、强酸、有机物和碱性污染控制。
厂务高流量 AMC 化学过滤器,用于 advanced semiconductor 环境中的 airborne molecular contamination 控制。