用于光刻胶、光化学品与溶剂本体过滤的疏水 UPE/HDPE 筒式系列；0.05–1.0 µm、UPE/UPX 长度和密封按完整型号确认
用于光刻胶、光化学品与溶剂本体过滤的疏水 UPE/HDPE 筒式系列；0.05–1.0 µm、UPE/UPX 长度和密封按完整型号确认
资料来源：Entegris Microgard UPE/UPX 官方产品页与 Bulk Photochemical Filters Datasheet；复核日期：2026-09-14。0.05–1.0 µm、长度、直径、接口、Chemlock key 与密封不是任意组合；原厂流量和截留描述须结合液体黏度、压差、具体型号和现场验证，不构成无条件性能承诺。
| 项目 | 说明 |
|---|---|
| 产品线 | 液体过滤器 · 滤芯 · 滤壳 |
| 产品系列 | Microgard™ UPE/UPX 过滤器 |
| 应用范围 | 半导体与化学品制造中的光刻胶、光化学品和溶剂本体过滤；原厂产品页同时列出湿法清洗和设施应用，需按化学品确认 |
| 材料 | UPE 与 UPX 均为疏水 UPE 膜和 HDPE 支撑、中心杆、套管；可选 PFA Chemlock key |
| 截留等级 | 0.05、0.1、0.2、0.5、1.0 µm；并非每种长度、接口、密封和 UPE/UPX 结构均有全部等级 |
| UPE / UPX 结构 | UPE 常见 10/20/30 英寸；UPX 当前资料列 4/10 英寸，膜面积和直径结构不同，不应只按截留等级互换 |
| 膜面积 | UPE 10/20/30 英寸约 0.86/1.72/2.59 m²；UPX 4/10 英寸约 0.53/1.11 m² |
| 密封 | UPE 可选 EPDM 或 E-FKM；UPX 可选 E-FKM、Kalrez 或全氟弹性体，具体组合按订货表确认 |
| 工况 | 25°C 最大正向压差 0.35 MPa、最大反向压力 0.27 MPa；最高工作温度 60°C |
| 资料版本 | Entegris 4418-7959ENT-0417；2026-09-14 复核 |
| 选型参数 | 光刻胶/光化学品/溶剂与 SDS、本体安装位、UPE 或 UPX、截留等级、长度、Code 0/5、Chemlock key、密封、流量、压差、温度和完整型号 |