用于正性显影液与 DI 水点供的亲水 UPE 系列；ST/DEV 囊式结构、10 nm–0.1 µm 与工况按型号确认
用于正性显影液与 DI 水点供的亲水 UPE 系列；ST/DEV 囊式结构、10 nm–0.1 µm 与工况按型号确认
资料来源：Entegris Optimizer Point-of-use Photochemical Filters Datasheet；复核日期：2026-09-12。ST DEV 与一次性 DEV/DEV-L 的结构、截留组合和工况上限不同，不得混用；当前资料只支持正性显影液与 DI 水的应用方向，具体 TMAH 配方、兼容性与现场表现须按 SDS、完整型号和项目验证确认。
| 项目 | 说明 |
|---|---|
| 产品线 | 液体过滤器 · 滤芯 · 滤壳 |
| 产品系列 | Optimizer® DEV 过滤器 |
| 应用范围 | 正性显影液与 DI 水的光刻点供过滤；具体 TMAH 浓度、添加剂和配方适用性须结合 SDS 与项目条件确认 |
| 材料 | 表面改性亲水 UPE 膜、HDPE 支撑、PP 外壳/中心杆/外套；ST 系列使用全氟弹性体 O 形圈 |
| ST DEV 组合 | ST DEV：0.05/0.1 µm；ST-L DEV：30 nm、0.05 µm，另一个 V 等级在当前 PDF 表格文本层与性能/订货标记间存在歧义，须按完整 P/N 书面确认；ST-LX DEV：10/20 nm，均使用 Connectology 兼容歧管 |
| 一次性 DEV 组合 | DEV：20/30 nm、0.05/0.1 µm；DEV-L：10/20/30 nm、0.05/0.1 µm；膜面积和接口随长度、精度及褶型变化 |
| ST 工况 | 25°C 最大入口压力 0.39 MPa，最大正向/反向压差 0.28 MPa；最高工作温度 40°C |
| 一次性 DEV 工况 | 25°C 最大入口压力 0.345 MPa，最大正向压差 0.345 MPa、反向压差 0.28 MPa；最高工作温度 60°C |
| 接口 | Super Type Pillar、compression seal、Flaretek 等按一次性 DEV/DEV-L 完整型号选择；ST 系列接口由兼容歧管决定 |
| 资料版本 | Entegris 4439-7441ENT-0922；2026-09-12 复核 |
| 选型参数 | 显影液类型与浓度、DI 水用途、温度、流量、允许压差、ST 或一次性结构、长度、截留等级、接口与完整型号 |