| 系统环节 | 配套产品 |
|---|---|
| 化学品源(桶站 / 罐区) | NOWPak® / 高纯桶取液连接器、桶站接口部件 |
| 输送管路(BCD → VMB → POU) | FluoroLine® PFA 管材、PureBond® 焊接管、Integra® 阀门、PrimeLock®/Flaretek® 接头 |
| 过滤节点 | 滤壳(单芯/多芯)+ 滤芯,按介质与流量分段配置 |
| 金属管控点 | 液体纯化器(供液系统在线安装) |
| 气体供应系统 | Wafergard® 气体过滤器、GateKeeper® 纯化器、VMB 配套 |
为湿法清洗机、涂胶显影 Track、单片清洗、CMP、CVD/ALD 等设备厂商提供机台内置过滤器、气体过滤器与 PFA 流体部件的选型与批量供应,支持按机台 BOM 长期供货、按生产计划分批交付,并协助处理产品升级换代时的替代型号确认。