Eximor® SV1 过滤器

Liquid Filters / Cartridges / Housings

用于 TEL 机台 RRC/NTD 溶剂点供的 UPE/HDPE 一次性过滤器；PGMEA/PGME、110 cc 与 40°C 工况按 EX1KCL0K1 和配方确认

液体过滤器滤芯/滤壳Entegris

资料来源：Entegris Eximor SV1 官方产品页与 Datasheet；复核日期：2026-09-14。Datasheet 明列 RRC、PGMEA 和 PGME，当前产品页另列 NTD；其他溶剂、缺陷改善、启动时间与互换性不得脱离 TEL 机台、配方、完整型号和验证条件推定。

产品规格与应用

项目	说明
产品线	液体过滤器 · 滤芯 · 滤壳
产品系列	Eximor® SV1 过滤器
应用范围	TEL 机台的 RRC 溶剂点供；Entegris 当前产品页另列 NTD developer，实际应用须按机台、化学品和启动配方确认
材料	UPE 膜；HDPE 外壳、中心杆与支撑；Kalrez 全氟弹性体 O 形圈（OF）
官方列明兼容介质	PGMEA、PGME；其他溶剂需由 Entegris 按具体配方确认
容积/典型流量	滞留体积 110 cc；20°C、1 mPa·s、压降 0.03 MPa 时典型流量 250 cc/min
工况	25°C 最大入口压力 0.34 MPa；最大正向/反向压差 0.27 MPa；最高工作温度 40°C
订货号	EX1KCL0K1（Eximor SV1 disposable filter）；不依据系列名推断其他配置
资料版本	Entegris 4440-11921ENT-1021；2026-09-14 复核
选型参数	TEL 机台与安装位、RRC/NTD 化学品及 SDS、启动/冲洗配方、流量、压差、温度、密封与完整订货号

Eximor SV1 与 SV5 能否按同为 NTD/RRC 点供过滤器直接互换？

不能。SV1 为 UPE 膜与 HDPE 结构、滞留体积 110 cc；SV5 为 PTFE 基膜与 PFA 结构、滞留体积 50 mL。还需核对 TEL 机台、溶剂、启动配方、压力和完整订货号。

Eximor SV1 是否适用于所有 NTD 或 RRC 溶剂？

不能这样判断。当前 Datasheet 明列 PGMEA、PGME，并要求其他溶剂联系 Entegris 确认；产品页的 NTD/RRC 分类不能替代化学兼容性和机台验证。

如果已有完整型号,请把型号或标签照片发给我们,我们会协助确认对应 datasheet、替代型号、交期和报价。