面向水系、出气及高温酸碱化学品的预湿非脱湿 PTFE/PFA 过滤系列；当前 Datasheet 主列 12 nm，工况按结构确认
面向水系、出气及高温酸碱化学品的预湿非脱湿 PTFE/PFA 过滤系列；当前 Datasheet 主列 12 nm，工况按结构确认
资料来源：Entegris Torrento AT Series Filters Datasheet；复核日期：2026-09-06。12 nm 与压力/温度数据对应当前链接资料中的指定结构；不同筒式、Chem-Line 及 1500/3000 配置不可共用同一工况上限，具体化学品兼容性、接口和清洗等级须按最新资料及完整订货号确认。
| 项目 | 说明 |
|---|---|
| 产品线 | 液体过滤器 · 滤芯 · 滤壳 |
| 产品系列 | Torrento® AT 过滤器 |
| 应用范围 | 循环槽与单片湿法设备；水系化学品及 SC1、SC2、SPM、氮化物/金属刻蚀、去胶等高温应用 |
| 材料 | 预湿非脱湿 PTFE 膜；PFA 支撑与一次性外壳；筒式 O 形圈按配置为 FFKM 或 E-ETP |
| 截留等级 | 当前链接 Datasheet 的 ATE/AT3 与 1500/3000 结构主列 12 nm；其他在售配置须按完整订货号和最新资料确认 |
| 结构/尺寸 | ATE/AT3 筒式与 Chem-Line I/II 一次性结构面向循环槽；1500/3000 小型一次性结构面向单片设备 |
| ATE/AT3 工况 | 25°C 最高工作压力 0.58 MPa、最大正向压差 0.44 MPa、最大反向压差 0.34 MPa；最高工作温度 180°C，升温时允许压力/压差下降 |
| 1500/3000 工况 | 25°C 最高工作压力 0.44 MPa、最大正向压差 0.39 MPa、最大反向压差 0.29 MPa；最高工作温度 95°C |
| 洁净选项 | 标准清洗测试 12 种金属；UCM 清洗测试 16 种金属；颗粒脱落指标须按 Datasheet 的 DI 水流量和粒径条件解读 |
| 资料版本 | Entegris 4432-5566ENT-1123；2026-09-06 复核 |
| 选型参数 | 化学品与浓度、温度、循环槽/单片位置、流量、允许压差、结构、清洗等级、接口、密封与完整订货号 |