Optimizer® HV 过滤器

Liquid Filters / Cartridges / Housings

用于聚酰亚胺等高黏度光化学品的机台端 UPE 筒式过滤器；0.5/1 µm，40-stack 壳体与工况按型号确认

液体过滤器滤芯/滤壳Entegris

资料来源：Entegris Optimizer HV Filter Datasheet；复核日期：2026-09-12。0.5/1 µm、40-stack 连接、尺寸和压力温度数据对应当前列出的两个完整型号；原厂流量、截留、停机时间和成本表述不等于现场结果保证，需按化学品黏度、设备、壳体和项目条件验证。

产品规格与应用

项目	说明
产品线	液体过滤器 · 滤芯 · 滤壳
产品系列	Optimizer® HV 过滤器
应用范围	半导体光刻及聚酰亚胺等高黏度光化学品的机台端/点供过滤；原厂说明以环境温度应用为设计重点
材料	UPE 膜；聚乙烯中心杆、外套与端盖；Kalrez 6375UP 全氟弹性体 AS568-015 O 形圈
截留等级/型号	CWAA40KM1：1 µm；CWAH40KM1：0.5 µm；不得只凭系列名或高黏度标签替换
结构/接口	膜面积 3,400 cm²；标称直径 66.7 mm、长度 113 mm；适配使用 2-015 O 形圈连接的 40-stack 壳体
工况	25°C 最大正向压差 0.34 MPa、最大反向压差 0.27 MPa；最高工作温度 60°C
预湿边界	原厂资料说明 UPE 膜无需预湿和冲洗；实际启动程序仍须结合化学品、设备规范与项目验证确认
资料版本	Entegris 4414-5355ENT-1221；2026-09-12 复核
选型参数	聚酰亚胺/高黏度光化学品、黏度、温度、流量、允许压差、0.5/1 µm、40-stack 壳体、O 形圈与完整型号

常见问题

Optimizer HV 的 0.5 µm 与 1 µm 能否直接互换？

不能。当前订货表分别对应 CWAH40KM1 与 CWAA40KM1。除截留等级外，还需核对高黏度化学品、流量压降、壳体、O 形圈、温度及设备验证条件。

Optimizer HV 是否适用于所有高黏度化学品？

不能只凭“高黏度”判断。原厂资料重点列出聚酰亚胺及相关光化学品的机台端应用；其他介质须先确认黏度、材料兼容性、温度、压力、流量和设备规范。

Datasheet 下载

如果已有完整型号,请把型号或标签照片发给我们,我们会协助确认对应 datasheet、替代型号、交期和报价。

Optimizer® HV 过滤器