以下产品参考 Entegris 官方 Liquid Purifiers 分类整理,覆盖 Protego® 与 Purasol™ 系列。
面向超洁净溶剂的金属杂质去除方案,用于批量或本体溶剂纯化。
用于 IPA 和溶剂的 all-in-one 纯化过滤器,兼顾颗粒截留与金属去除。
面向高温 DI 水清洗的纯化过滤器,适用于最高约 80°C 的关键清洗工艺。
低温 DI 水关键清洗工艺使用的 all-in-one 纯化过滤器。
用于 sub-7 nm 先进节点侵蚀性溶剂应用的超洁净纯化器。
用于 sub-16 nm 先进节点侵蚀性溶剂应用的超洁净纯化器。
适用于光刻等半导体溶剂体系的超洁净金属去除纯化器。
用于 IPA 和溶剂的 all-in-one 纯化过滤器,具备颗粒截留和金属去除能力。