| 介质类别 | 典型品种 | 方案要点 |
|---|---|---|
| 电子级溶剂 | PGMEA、PGME、NMP、EL、IPA、丙酮 | UPE 膜过滤 + 离子交换除金属,灌装前终端过滤 |
| 高纯酸 | H₂SO₄、HF、HCl、HNO₃、H₃PO₄ | PTFE/PFA 体系,全 PFA 滤壳与管路,耐腐蚀方案 |
| 高纯碱 / 氧化剂 | NH₄OH、TMAH、H₂O₂ | 兼容性膜材确认,H₂O₂ 需关注分解与析出控制 |
| 功能清洗液 | pCMP 清洗液、蚀刻后清洗、剥离液 | 配方化学品需逐一确认添加剂兼容性,建议样品测试 |
反应/蒸馏/混配后的大流量过滤,Torrento® 等高通量系列降低压降与滤芯消耗。
灌装口前最后一道颗粒把关,精度按客户端规格选择。