面向 NTD、nBA 及其他强溶剂的点供/机台端 PTFE/PFA 过滤器；2/7/10 nm，清洗等级按介质确认
面向 NTD、nBA 及其他强溶剂的点供/机台端 PTFE/PFA 过滤器；2/7/10 nm，清洗等级按介质确认
资料来源：Entegris Optimizer ST-LX AT Filters Datasheet；复核日期：2026-09-07。原厂缺陷、清洁度、启动与良率描述基于其设计和测试条件，不等于现场结果保证；2/7/10 nm、ULC/DF1/UCP/UC、介质兼容性与工况需按完整订货号及项目验证确认。
| 项目 | 说明 |
|---|---|
| 产品线 | 液体过滤器 · 滤芯 · 滤壳 |
| 产品系列 | Optimizer® AT 光化学品过滤器 |
| 应用范围 | 负性显影液（NTD）、n-Butyl Acetate（nBA）/其配方及其他强溶剂的点供或机台端过滤 |
| 材料 | PTFE 膜；PFA 支撑、中心杆、外套与外壳；Kalrez O 形圈 |
| 截留等级 | 2 nm、7 nm、10 nm |
| 清洗/应用组合 | 2 nm 提供 ULC（nBA）或 DF1（非 nBA 强溶剂）；7 nm 提供 UCP/标准；10 nm 提供 UC/标准，以完整订货号为准 |
| 结构/膜面积 | ST-LX 长囊式结构；过滤面积 4,800 cm² |
| 工况 | 25°C 最大入口压力 0.39 MPa，最大正向/反向压差 0.27 MPa；最高工作温度 40°C |
| 冲洗壳边界 | ATH0000K1 仅供化学管线/系统短期冲洗（少于 1 个月），不得代替过滤器长期承压使用 |
| 资料版本 | Entegris 4439-11067ENT-0924；2026-09-07 复核 |
| 选型参数 | NTD/nBA/其他溶剂类型、含水情况、温度、流量、允许压差、截留等级、清洗等级、接口与完整型号 |