用于先进 CMP 浆料机台端大颗粒控制的 PP 纳米纤维连续熔喷过滤器；截留等级、连接与效果按浆料和型号确认
用于先进 CMP 浆料机台端大颗粒控制的 PP 纳米纤维连续熔喷过滤器；截留等级、连接与效果按浆料和型号确认
资料链接来自 Entegris 官方网站。具体订货号、接口、精度与兼容性请以原厂当前 datasheet 和最终确认结果为准。
| 项目 | 说明 |
|---|---|
| 产品线 | 液体过滤器 · 滤芯 · 滤壳 |
| 产品系列 | Solaris® NMB 过滤器 |
| 主要用途 | 用于先进 CMP 浆料机台端大颗粒控制的 PP 纳米纤维连续熔喷过滤器；截留等级、连接与效果按浆料和型号确认 |
| 应用范围 | 半导体 CMP 浆料机台端大颗粒控制 |
| 材料 | PP 纳米纤维连续熔喷滤材；内滤芯 EPR 密封圈 |
| 截留等级 | 0.03、0.05、0.07、0.1、0.2、0.5、0.7、1、3 和 5 µm |
| 连接/工况 | 3/8" Flaretek® 或 Connectology®；50 psi @ 20°C |
| 资料版本 | Entegris 4423-7298DSA-0924；2026-09-01 复核 |
| 选型参数 | 介质、流量、温度、压力、过滤精度、接口/长度/密封形式、是否配套滤壳 |