用于平板显示湿法与电子零件电镀预过滤的多级渐密度深层系列；0.5–40 µm，筒式/一次性材料与工况按型号确认
用于平板显示湿法与电子零件电镀预过滤的多级渐密度深层系列；0.5–40 µm，筒式/一次性材料与工况按型号确认
资料来源：Entegris ProcessGard NP Cartridge and Disposable Filters Datasheet；复核日期：2026-09-13。0.5/1.0 µm 与 2–40 µm 的介质材料不同；筒式与一次性结构的接口、尺寸、压力和温度边界不得混用，应用与效果须按工艺液、完整型号和项目验证确认。
| 项目 | 说明 |
|---|---|
| 产品线 | 液体过滤器 · 滤芯 · 滤壳 |
| 产品系列 | ProcessGard® NP 过滤器 |
| 应用范围 | 平板显示湿法蚀刻、剥离、显影与清洗预过滤，以及电子零件电镀工艺预过滤；不据此扩展为所有半导体化学品应用 |
| 介质材料 | 2–40 µm 使用聚丙烯；0.5/1.0 µm 使用聚丙烯与玻璃纤维；支撑、笼架、中心杆、套管和端盖为聚丙烯 |
| 截留等级 | 0.5、1、2、3、5、10、20、30、40 µm；一次性结构当前订货表列至 20 µm，具体组合按完整型号确认 |
| 筒式结构 | 直径 70 mm；Code 0（2-222）或 Code F 平垫片，10/20 英寸；O 形圈可选 EPDM、FKM、E-FKM，10 英寸 Code 0 可选 Chemlock key |
| 一次性结构 | 1/4 英寸 compression seal 接口；当前 Datasheet 的订货结构与筒式不同，不得沿用筒式尺寸或压差上限 |
| 筒式工况 | 25°C 最大压差 0.5 MPa；最高工作温度 80°C |
| 一次性工况 | 25°C 最大入口压力 0.27 MPa；最高工作温度 38°C |
| 资料版本 | Entegris 4412-5060ENT-0624；2026-09-13 复核 |
| 选型参数 | 工艺液与污染物、预过滤位置、0.5–40 µm 等级、筒式或一次性、长度、接口、密封、Chemlock key、流量、允许压差、温度与完整型号 |