用于 BOE/DHF、NH4OH、TMAH 与 DI 水的 10 nm PAS 膜过滤器；适用于 Bulk/POU 低温工艺，良率效果按实际验证确认
用于 BOE/DHF、NH4OH、TMAH 与 DI 水的 10 nm PAS 膜过滤器；适用于 Bulk/POU 低温工艺，良率效果按实际验证确认
资料链接来自 Entegris 官方网站。具体订货号、接口、精度与兼容性请以原厂当前 datasheet 和最终确认结果为准。
| 项目 | 说明 |
|---|---|
| 产品线 | 液体过滤器 · 滤芯 · 滤壳 |
| 产品系列 | Astera™ 液体过滤器 |
| 主要用途 | 用于 BOE/DHF、NH4OH、TMAH 与 DI 水的 10 nm PAS 膜过滤器；适用于 Bulk/POU 低温工艺，良率效果按实际验证确认 |
| 应用范围 | BOE/DHF 酸性化学品、NH4OH/TMAH 碱性化学品与 DI 水；Bulk/POU 低温工艺 |
| 材料 | PAS 膜；HDPE 支撑、套筒、芯与端盖；E-FKM 或 Kalrez® 6375 密封 |
| 截留等级 | 10 nm |
| 工况边界 | 最大正向压差 0.21 MPa @ 25°C；最大工作压力 0.58 MPa @ 25°C；最高工作温度 70°C @ 10 psi |
| 资料版本 | Entegris 4456-11490ENT-0421；2026-09-02 复核 |
| 选型参数 | 介质、流量、温度、压力、过滤精度、接口/长度/密封形式、是否配套滤壳 |