面向 5nm 及以下先进制程,针对光化学品中微小污染物的高截留优化
面向 5nm 及以下先进制程,针对光化学品中微小污染物的高截留优化
资料链接来自 Entegris 官方网站。具体订货号、接口、精度与兼容性请以原厂当前 datasheet 和最终确认结果为准。
| 项目 | 说明 |
|---|---|
| 产品线 | 液体过滤器 · 滤芯 · 滤壳 |
| 产品系列 | Microgard™ Gen 1 UPE 过滤器 |
| 主要用途 | 面向 5nm 及以下先进制程,针对光化学品中微小污染物的高截留优化 |
| 选型参数 | 介质、流量、温度、压力、过滤精度、接口/长度/密封形式、是否配套滤壳 |