Etchgard™ HP / HPX 过滤器

Liquid Filters / Cartridges / Housings

用于 HF/BOE 循环槽的亲水 UPE/HDPE 过滤器；0.05/0.1 µm，HP/HPX 结构与长度按完整型号确认

液体过滤器滤芯/滤壳Entegris

资料来源：Entegris Etchgard HP and HPX Filters Datasheet；复核日期：2026-09-06。原厂性能描述基于其设计与测试条件，不等于现场 OEE、缺陷或寿命保证；具体槽液、流量、压差、温度、长度、密封和一次性/筒式结构以当前原厂资料及完整订货号确认为准。

产品规格与应用

项目	说明
产品线	液体过滤器 · 滤芯 · 滤壳
产品系列	Etchgard™ HP / HPX 过滤器
应用范围	HF 与 BOE 湿法刻蚀/清洗循环槽；流量与槽液周转效果须结合泵、黏度和系统压降验证
材料	亲水 UPE 膜；非织造 HDPE 支撑、外套、中心杆与端盖；HPX Chem-Line I 一次性外壳为 PFA
截留等级	0.05 µm 或 0.1 µm
HP/HPX 配置	HP 为 10 英寸筒式；HPX 提供 4、10、20 英寸筒式及 10 英寸 Chem-Line I PFA 一次性结构
接口/密封	筒式为 Code 0 双 2-222 O 形圈；E-FKM、Kalrez 4079/6375 按配置选择；10 英寸可选 Chemlock 键
压力/温度	25°C 最大正向与反向压差均为 0.35 MPa；最高工作温度 60°C
资料版本	Entegris 4420-6039ENT-0819；2026-09-06 复核
选型参数	HF/BOE 浓度与温度、循环槽体积、流量、允许压差、截留等级、HP/HPX 结构、长度、密封与完整订货号

Etchgard HP 与 HPX 有什么区别？

两者均使用亲水 UPE 膜并提供 0.05 µm 和 0.1 µm 等级，但膜面积、长度和结构不同。HP 为 10 英寸筒式；HPX 提供 4、10、20 英寸筒式及 Chem-Line I PFA 一次性结构，不能只凭系列名互换。

Etchgard HP/HPX 能否保证改善槽液质量或设备效率？

不能无条件保证。Datasheet 说明其用于 HF/BOE 循环槽并给出膜面积、流量曲线和压差边界；实际结果仍取决于槽体积、循环流量、泵、化学品、颗粒负荷、换芯条件和验证方法。

如果已有完整型号,请把型号或标签照片发给我们,我们会协助确认对应 datasheet、替代型号、交期和报价。