以下产品参考 Entegris 官方 Gas Purifiers 分类整理,覆盖 GPS8、GateKeeper® GPU/HGU 与 MegaTorr® 大流量纯化系统。
Gas Purifiers
氮气纯化器,用于去除多种气态杂质,适合高纯 N₂ 供气。
N₂Point of Useppt-level
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点供型气体纯化器,可按介质去除卤化气体、氢化物、反应性氧化物、烃类等杂质。
Point of UseMultiple gasesGateKeeper
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加热 getter 气体纯化器,用于去除 H₂O/O₂/CO/CO₂/H₂/N₂/THC 等杂质。
Heated GetterUp to 150 slpmGateKeeper
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自动再生型氮气纯化系统,用于大流量 N₂ 中 H₂O/O₂/CO/CO₂/H₂ 等杂质控制。
N₂Auto-regenerableBulk gas
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催化/吸附式大宗氮气纯化系统,用于高流量 N₂ 杂质去除。
N₂Catalyst / AdsorberBulk gas
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稀有气体纯化系统,用于 He、Ar 中的杂质去除。
Rare gasesHeated getterBulk gas
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自动再生型氢气纯化系统,用于 H₂ 中水氧和烃类等杂质控制。
H₂Auto-regenerableBulk gas
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吸附/getter 型氢气纯化系统,用于 H₂ 中多种痕量杂质去除。
H₂Adsorber / GetterBulk gas
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低温/cryogenic 氢气纯化系统,用于高流量 H₂ 中水氧、烃类等杂质控制。
H₂CryogenicBulk gas
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氧气纯化系统,用于 O₂ 中水、CO、CO₂、氢和烃类杂质控制。
O₂Catalyst / AdsorberBulk gas
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