Liquid Filters & Housings
光刻胶、湿法化学品、UPW、CMP 浆料过滤与配套滤壳,滤壳已归入此大类。
FiltersCartridgesHousings
详情 →Liquid Purifiers
Protego® / Purasol™ 系列,用于溶剂和 DI 水中金属离子、阴离子与颗粒污染控制。
Metal removalSolventsDI Water
详情 →Gas Filters
Wafergard® 气体过滤器、Chambergard™ Gas Diffusers 与 VaporSorb™ AMC 过滤器。
WafergardDiffusersAMC
详情 →Gas Purifiers
GateKeeper® / MegaTorr® / GPS8 气体纯化器,用于水氧、烃类和多种气态杂质 ppt 级控制。
GateKeeperMegaTorrppt-level
详情 →Chemical Packaging
折叠内袋近零余液分配、FluoroPure® 高纯桶,覆盖光刻胶与高粘度 PI。
Chemical packagingLow extractables
详情 →PFA Tubing, Valves & Fittings
FluoroLine® 管材、Integra® 阀门、PrimeLock®/Flaretek® 接头。
PFAValvesFittings
详情 →Wafer & Reticle Handling
300/200mm 晶圆传输、EUV/ArF 光罩盒与裸晶/CSP 封装托盘。
FOUPReticleTrays
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