用于光刻胶、溶剂和其他辅助光化学品本体预过滤的尼龙/HDPE 系列；5/10/20 nm，清洗等级与尺寸按完整型号确认
用于光刻胶、溶剂和其他辅助光化学品本体预过滤的尼龙/HDPE 系列；5/10/20 nm，清洗等级与尺寸按完整型号确认
资料来源：Entegris Microgard Advanced Nylon Filters Datasheet；复核日期：2026-09-12。原厂金属去除、缺陷、流量和洁净度描述基于其材料、设计与测试条件，不等于现场结果保证；5/10/20 nm、Standard/UC/UCP、尺寸、密封和膜面积须按当前订货表及完整型号确认。
| 项目 | 说明 |
|---|---|
| 产品线 | 液体过滤器 · 滤芯 · 滤壳 |
| 产品系列 | Microgard™ Advanced 尼龙过滤器 |
| 应用范围 | 本体化学品制造与光刻预过滤；原厂资料列出光刻胶、溶剂和其他辅助光化学品，覆盖逻辑与 DRAM 场景 |
| 材料 | 尼龙（聚酰胺）膜；HDPE 支撑、中心杆与外套；AS568-222 E-FKM 或 Kalrez O 形圈 |
| 截留/清洗组合 | 5、10、20 nm；Standard、Ultraclean（UC）、Ultraclean Plus（UCP）不是所有尺寸与精度均可组合，须按完整订货号确认 |
| 结构/尺寸 | 10/20 英寸、70/83 mm 筒式为主，另有部分 30 英寸及小型一次性配置；当前规格表膜面积约 0.14–2.62 m²，取决于尺寸、精度和清洗等级 |
| 5 nm 边界 | 当前订货表列出 70 mm 的 10/20 英寸筒式及小型一次性 5 nm 配置；不能把 5 nm 套用于全部 83 mm 或全部清洗版本 |
| 资料版本 | Entegris 4458-11725DSA-1022；2026-09-12 复核 |
| 选型参数 | 光刻胶/溶剂/辅助化学品、逻辑或 DRAM 工艺位置、截留等级、清洗等级、长度、直径、密封、流量、允许压差与完整型号 |