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GAS PURIFIER DETAIL

GateKeeper® HGU Heated Getter Gas Purifiers

加热 getter 气体纯化器,用于去除 H₂O/O₂/CO/CO₂/H₂/N₂/THC 等杂质。

GateKeeper® HGU Heated Getter Gas Purifiers
Gas Purifiers

GateKeeper® HGU Heated Getter Gas Purifiers

加热 getter 气体纯化器,用于去除 H₂O/O₂/CO/CO₂/H₂/N₂/THC 等杂质。

Heated GetterUp to 150 slpmGateKeeper

资料链接来自 Entegris 官方网站。具体订货号、接口、精度与兼容性请以原厂当前 datasheet 和最终确认结果为准。

产品规格与应用

项目说明
系统类型Heated Getter
流量范围最高约 150 slpm(按型号)

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