H₂ 专用自动再生型大宗气体纯化器；Entegris 当前资料列出 H₂O、O₂、CO、CO₂ 和 NMHC 可降至 <1 ppb，标准型号表覆盖 10–200 Nm³/hr。
资料来源：Entegris 官方产品页与 Datasheet；复核日期：2026-08-21。标准型号表与产品页所述优化设计上限含义不同，页面指标不应脱离入口杂质、流量、压力、再生条件和具体型号视为项目保证值。
| 项目 | 说明 |
|---|---|
| 适用气体 | H₂ |
| 系统类型 | 自动再生型 |
| 官方列明杂质 | H₂O、O₂、CO、CO₂、NMHC（非甲烷烃；当前 Datasheet 列为 <1 ppb） |
| 标准型号流量 | 10–40、50–60、90–120、200 Nm³/hr（167–667、833–1,000、1,500–2,000、3,333 slpm） |
| 其他流量 | Entegris 产品页另述优化设计最高 1,000 Nm³/hr；非标准流量需联系 Entegris 确认 |
| 最大压降 | <0.7 bar（70 kPa） |
| 工艺与使用边界 | 两个吸附容器轮换纯化与再生；仅用于 H₂，并以纯化后 H₂ 高温反吹再生 |
MegaTorr PS7-A 是 H₂ 专用的自动再生型大宗气体纯化器。两个吸附容器轮换纯化与再生，可连续输出纯化气体。当前 Entegris Datasheet 将 H₂O、O₂、CO、CO₂ 和 NMHC 列为降至 <1 ppb 的杂质；具体项目值仍需按入口条件和型号确认。
PS7-A 仅用于 H₂。当前 Entegris Datasheet 列出 H₂O、O₂、CO、CO₂ 和 NMHC（非甲烷烃），并给出降至 <1 ppb 的产品指标。
当前标准型号表覆盖 10–200 Nm³/hr，最大压降为 <0.7 bar。Entegris 产品页另述优化设计最高 1,000 Nm³/hr，不能把该上限当作每个标准型号的额定流量；其他流量需由 Entegris 确认。
至少提供 H₂ 入口纯度与杂质、常用和峰值流量、入口压力、目标出口纯度、允许压降、接口、安装环境、再生与安全联锁条件；已有型号或铭牌照片时应一并提供。