H₂ 专用吸附/getter 型大宗气体纯化器；Entegris 当前资料列出 H₂O、O₂、CO、CO₂、THC（含 CH₄）和 N₂ 可降至 <1 ppb，标准型号最大流量至 200 Nm³/hr。
资料来源：Entegris 官方产品页与 Datasheet；复核日期：2026-08-02。纯化器为气体专用，页面指标不应脱离入口杂质、流量、压力、再生条件和具体型号视为项目保证值。
| 项目 | 说明 |
|---|---|
| 适用气体 | H₂ |
| 系统类型 | 吸附/getter 型 |
| 官方列明杂质 | H₂O、O₂、CO、CO₂、THC（含 CH₄）、N₂（当前 Datasheet 列为 <1 ppb） |
| 标准型号最大流量 | 20、40、100、200 Nm³/hr（333、667、1,667、3,333 slpm） |
| 最大压降 | <1 bar（100 kPa） |
| 工艺与使用边界 | 常温催化吸附 + 加热 getter；仅用于 H₂，吸附床使用纯化后 H₂ 高温反吹再生 |
MegaTorr PS7-H 是 H₂ 专用的吸附/getter 型大宗气体纯化器。两个常温吸附容器轮换纯化与再生，下游加热 getter 用于 N₂ 和 CH₄ 控制。当前 Entegris Datasheet 将 H₂O、O₂、CO、CO₂、THC（含 CH₄）和 N₂ 列为降至 <1 ppb 的杂质，项目值仍需按实际入口条件和型号确认。
PS7-H 仅用于 H₂。当前 Entegris Datasheet 列出 H₂O、O₂、CO、CO₂、THC（含 CH₄）和 N₂，并给出降至 <1 ppb 的产品指标。
当前标准型号表列出 20、40、100、200 Nm³/hr（333、667、1,667、3,333 slpm）四个最大流量档位，最大压降为 <1 bar。具体型号还要核对连续/峰值流量与入口条件。
至少提供 H₂ 入口纯度与杂质、常用和峰值流量、入口压力、目标出口纯度、允许压降、接口、安装环境、再生及安全联锁条件；已有型号或铭牌照片时应一并提供。