O₂ 专用催化/吸附式大宗气体纯化系统；Entegris 当前资料列出 H₂O、CO、CO₂、H₂、CH₄ 可降至 <1 ppb，实际规格以型号与入口条件确认。
资料来源：Entegris 官方产品页与 Datasheet；复核日期：2026-07-31。纯化器为气体专用，具体订货号、流量、接口、入口条件与性能请以原厂当前 Datasheet 和最终型号确认结果为准。
| 项目 | 说明 |
|---|---|
| 适用气体 | O₂ |
| 系统类型 | 催化/吸附式 |
| 官方列明杂质 | H₂O、CO、CO₂、H₂、CH₄（当前 Datasheet 列为 <1 ppb） |
| 使用限制 | 气体专用；仅用于 O₂，最终型号按流量、压力与入口条件确认 |
MegaTorr PS6 是 O₂ 专用的催化/吸附式大宗气体纯化器。Entegris 当前资料列出的目标杂质为 H₂O、CO、CO₂、H₂ 和 CH₄；页面中的 <1 ppb 是原厂列明的产品指标，不应脱离入口纯度、流量、压力和具体型号单独视为项目保证值。
Entegris 当前资料把 PS6 列为 O₂ 专用纯化器。其他气体应选择对应系列并由原厂资料和最终型号确认，不能仅按接口或流量替代。
当前 Entegris Datasheet 列出 H₂O、CO、CO₂、H₂ 和 CH₄，并给出降至 <1 ppb 的产品指标；项目值仍需结合入口条件和型号确认。
至少提供 O₂ 纯度、入口杂质、常用与峰值流量、压力、目标出口纯度、接口和安装环境；已有完整型号或设备铭牌照片时应一并提供。