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GAS PURIFIER DETAIL

GateKeeper® GPU Gas Purifiers

点供型气体纯化器,可按介质去除卤化气体、氢化物、反应性氧化物、烃类等杂质。

GateKeeper® GPU Gas Purifiers
Gas Purifiers

GateKeeper® GPU Gas Purifiers

点供型气体纯化器,可按介质去除卤化气体、氢化物、反应性氧化物、烃类等杂质。

Point of UseMultiple gasesGateKeeper

资料链接来自 Entegris 官方网站。具体订货号、接口、精度与兼容性请以原厂当前 datasheet 和最终确认结果为准。

产品规格与应用

项目说明
适用气体多种工艺气体
安装位置Point of Use / 设备前端

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