自动再生型氮气纯化系统,用于大流量 N₂ 中 H₂O/O₂/CO/CO₂/H₂ 等杂质控制。
资料来源：Entegris 官方产品页与 Datasheet；复核日期：2026-08-01。具体订货号、流量、入口条件、公用工程、接口与性能请以原厂当前 Datasheet 和最终型号确认结果为准。
| 项目 | 说明 |
|---|---|
| 适用气体 | N₂ |
| 系统类型 | 自动再生型 |
| 官方列明杂质 | H₂O、O₂、CO、CO₂、H₂（当前 Datasheet 列为 <1 ppb） |
| 标准型号流量范围 | 10–10,000 Nm³/hr（167–166,667 slpm）；更大型号需与原厂确认 |
| 最大压降 | <0.7 bar；PS8-MGT4000–PS8-MGT10000 为 <1 bar |
| 使用与再生边界 | 仅用于 N₂；自动再生涉及净化后工艺气与低浓度 H₂ 高温反吹，公用工程和安全联锁按最终配置确认 |
MegaTorr PS8 是 N₂ 专用的双吸附、自动再生型大宗气体纯化器。Entegris 当前资料列出 H₂O、O₂、CO、CO₂ 和 H₂ 可降至 <1 ppb；该指标不能脱离入口杂质、流量、压力、再生条件和具体型号视为项目保证值。
PS8 仅用于 N₂。当前 Entegris Datasheet 列出 H₂O、O₂、CO、CO₂ 和 H₂，并给出降至 <1 ppb 的产品指标；其他杂质需按当前原厂资料单独确认。
当前标准型号表覆盖 10–10,000 Nm³/hr（167–166,667 slpm）。还需结合入口压力、允许压降、入口杂质、连续用量和峰值流量确认具体型号；更大型号应直接向原厂确认。
至少提供 N₂ 入口纯度与杂质、常用和峰值流量、入口压力、目标出口纯度、允许压降、安装环境、接口，以及 H₂、仪表气、旁路和安全联锁条件。