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PSS 粒径与颗粒分析：Entegris AccuSizer、Nicomp

从颗粒计数、纳米粒径与 Zeta 电位的检测目标出发，核对系列、取样方式和采购配置。众甫光电提供资料整理、型号核对与项目询价支持。

资料核验：2026-11-02 · 服务主体：众甫光电科技（武汉）有限公司

PSS 是什么？先认清制造商与产品体系

PSS 在本页指 Particle Sizing Systems, LLC。Entegris 于 2018 年 1 月 22 日宣布收购该公司；当前 Entegris 官方目录继续提供 AccuSizer® 与 Nicomp® 粒子分析系统。[1–3] 因此，“Entegris PSS”可帮助定位这两条产品路线，但不能代替铭牌上的完整型号与系统配置。

对半导体材料、CMP 浆料与配方开发团队而言，先说明希望看到的是少量大颗粒尾部、颗粒数量浓度、纳米粒径分布，还是分散体系的电性信息，再选择检测原理。过滤等级、粒径分布与颗粒计数是不同指标，不能互相当作验证结果。

Entegris AccuSizer SPOS 系列官方设备图，用于产品体系识别
AccuSizer SPOS 系列官方图。用于识别产品路线，图示外观不代表某一完整料号的交付配置。来源：Entegris。[2]
Entegris Nicomp DLS 系列官方设备图，用于纳米粒径分析路线识别
Nicomp N3000 官方图，用于说明 DLS 粒径分析设备。Zeta 电位能力须按 Z3000 等具体配置另行核对。来源：Entegris。[3]

AccuSizer SPOS 与 Nicomp DLS 怎样分工？

检测路线官方公开功能应先提交的判断条件不应混用的结论
AccuSizer / SPOS单颗粒光学传感；逐颗粒获取粒径和数量浓度信息。[2]是否关注 LPC、大颗粒尾部；样品浓度、测量体积、稀释方式与采样位置。不能把稀释后计数直接当作原液结果，须确认稀释比例和计算口径。
Nicomp / DLS动态光散射分析纳米粒径；Zeta 电位依具体型号配置。[3]是否关注纳米分散体系、粒径分布、稳定性评价；介质黏度和浓度等方法输入。DLS 粒径结果不能直接替代 SPOS 的逐颗粒计数或 LPC 验收线。

系列名称之后，还要核对哪些配置？

系列或型号官方资料中的用途项目核对重点
AccuSizer Mini FLEXCMP 浆料在线大颗粒计数（LPC）路线，也可处理瓶样。[4]在线取样点、旁路与样品回收、稀释液、LPC 阈值、报警及数据输出；不能把“在线”写成所有产线直接适配。
AccuSizer A7000 DI面向氧化铝及类似浆料的自动化批量分析，含自动取样和稀释流程。[5]瓶样数量、样品混匀、取样体积、稀释模式、空白及清洗后残留验证。
AccuSizer A7000 SIS注射器进样系统，当前数据表面向 USP〈788〉；进样方式与 DI 自动批量路线不同。[6]进样体积、注射器与接液流路、浓度适用性、操作模式及清洗方案；不套用 DI 的节拍和配置；半导体样品用途须另行验证。
Nicomp N3000 / Z3000N3000 为粒径分析路线；Z3000 增加 Zeta 电位分析能力。[3]是否需要 Zeta 电位、样品池/电极、介质条件、软件许可与结果输出；不把 Z3000 功能自动写给 N3000。

把取样、稀释与清洗写进验收方法

在线取样系统要核对取样位置是否能代表主流路、样品输送时间和清洗切换；瓶样系统要保存样品标识、混匀、稀释、空白与复测条件。光学检测能够完成，不代表采样与前处理已经得到验证。浓度超出所选传感器或方法条件、沉降、气泡和批间残留，均应纳入样品测试计划。

A7000 DI 官方数据表列出不同稀释/操作模式，并描述机械混匀、独立移液吸头与清洗环节。[5] 这些结构信息用于确定验证项目；不构成任何样品“零交叉污染”的通用保证。具体流量、量程、压力、接液材质、校准方法和结果接受标准，应绑定实际型号和当前受控资料。

向众甫提交 PSS 询价时，一次准备这些信息

资料用途
完整型号、铭牌及现用设备照片确认制造商、配置、传感器和替换范围；避免仅凭 PSS 缩写报价。
样品介质/SDS、浓度、黏度与温度筛查接液相容性、前处理和测量方法；敏感配方可先提供允许披露的资料。
LPC/粒径/Zeta 目标、样本量及重复性要求明确检测原理、报告口径和验收方案。
在线/瓶样/注射器，安装与软件要求列明取样、稀释、清洗、通讯、数据保存、软件许可与安装条件。
项目地、数量、文件与服务范围书面核对供货主体、渠道与授权范围、校准/IQ/OQ文件、培训、维护、价格及交期。

众甫光电科技（武汉）有限公司可协助整理 Entegris PSS 设备资料、型号与应用条件，并协调具体项目的采购询价。搜索“PSS代理”后，建议先阅读PSS 代理与供货渠道核对指南，再按完整型号索取书面报价。授权、供货、安装、培训和售后实施方分别确认。

PSS 常见问题

PSS 是什么公司，与 Entegris 有什么关系？
本文的 PSS 指 Particle Sizing Systems, LLC。Entegris 在2018年1月22日宣布收购该公司；当前官方目录中的 AccuSizer 与 Nicomp 分别对应 SPOS 和 DLS 粒子分析路线。
AccuSizer 和 Nicomp 能互相替代吗？
不能仅按粒径范围互换。AccuSizer SPOS面向逐颗粒粒径与数量浓度分析；Nicomp以动态光散射分析纳米粒径，Zeta电位取决于具体配置。应先明确LPC计数、粒径分布或分散稳定性问题。
搜索 PSS代理、Entegris PSS 后如何向众甫询价？
可向众甫光电提供完整型号、标签或铭牌照片、样品介质及SDS、浓度和测试目标。供货主体、渠道、区域授权、价格、交期及可交付文件由当次书面报价和相关证明确认。
PSS 设备安装、软件和售后能否直接按系列承诺？
不能。安装条件、软件许可、数据输出、IQ/OQ、维护耗材、培训与服务实施方须按完整配置分别列明。官网系列介绍不等同于已确认的供货或官方售后授权。

官方参考资料

  1. Entegris acquisition of Particle Sizing Systems, LLC — January 22, 2018
  2. Entegris AccuSizer SPOS Systems — System Features / Applications
  3. Entegris Nicomp Nano DLS/ZLS Systems — System Features
  4. AccuSizer Mini FLEX Data Sheet — 7127-12974ENT-0623, pp.1–4
  5. AccuSizer A7000 DI Data Sheet — 7127-10462ENT-0626, pp.1–3
  6. AccuSizer A7000 SIS Data Sheet — 7127-10463ENT-0326, pp.1–2

以上为公开资料的选型整理。系列图仅用于产品识别；产品范围、配置、样品相容性、指标及供货条件以完整型号、当前官方资料、样品验证和书面确认为准。

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欢迎提供完整型号、介质/SDS、样品浓度、检测目标、流量/压力（如适用）、接口和现用照片咨询。