Entegris EUV 光罩传输盒 | 1010 Series 与 EUV Pod NX 规格对比

Wafer & Reticle Handling / Product Guide

EUV Pod 1010 Series 与 EUV Pod NX

本资料比较两系列的双 Pod 架构、Pellicle 配置、SEMI E152 相关表述、识别追溯、自动化、公开尺寸及型号信息。具体 P/N、设备适配与资格、价格、交期及库存请按型号、项目或询价确认。

EUV Reticle Pod1010 SeriesEUV Pod NX6 页 PDF

Rev A · 2026-09-03。本资料为众甫半导体技术选型参考，不是 Entegris 原厂数据表或性能保证。

Architecture

说明外盒 EOP 与内盒 EIP 的结构关系，以及两代产品公开资料中的洁净设计重点。

Configuration

整理 1010 Series 与 EUV Pod NX 的 A / P 版本、Pellicle pocket 与观察窗等公开字段。

Evidence

汇总 SEMI E152 表述、识别追溯、自动化、NX 公开尺寸及订购信息，并标出未公开项。

项目	页面说明
1010 Series	保留公开产品页与 2018 年历史资格公告所支持的范围；不据此推断产品已停产、已被替代或适配所有机台。
EUV Pod NX	依据 2025 年公开数据表整理其结构、追溯、自动化与尺寸信息；具体设备资格、配置和 P/N 需按项目确认。
SEMI E152	仅转述 Entegris 公开资料中的符合或兼容表述，不构成众甫对当前标准状态的独立认证。
商务与文件	制造商、授权范围、当前数据表、图纸、价格、交期、库存及可提供文件以当次书面确认为准。

如果已有光刻机、光罩、Pellicle 或现用 Pod 信息，请一并提供具体机台版本、完整 P/N、接口与客户变更要求，用于后续技术确认。