众甫半导体自有品牌产品，提供 HDPE、Nylon 与 PTFE 膜选项，面向光刻胶、BARC、TMAH 显影液、相关溶剂与 DIW 过滤选型。
HDPE、Nylon 与 PTFE 三类膜材覆盖不同的光刻胶、BARC、显影液、溶剂与 DIW 初筛需求。膜材与等级必须结合具体配方、润湿方式、析出风险和设备条件确认。
具体膜材、配方兼容性、润湿与操作条件请按项目确认。
| 项目 | 原始资料列示内容 |
|---|---|
| 产品线 | 众甫半导体 LTD1 系列高洁净液体过滤器 |
| 应用定位 | 面向光刻胶、BARC（底部抗反射涂层）、TMAH 显影液、相关溶剂与 DIW 过滤初筛 |
| HDPE 膜选项 | 50 / 30 / 10 / 5 / 2 / 1 nm；膜面积 0.24 m² |
| Nylon 膜选项 | 50 / 20 / 10 / 5 nm；膜面积 0.18 m² |
| PTFE 膜选项 | 0.45 / 0.2 / 0.1 µm，以及 50 / 30 / 20 / 10 nm；膜面积 0.24 m² |
| 结构材料 | PP 壳体、端盖与骨架；HDPE 支撑 |
| 连接 | NPT |
| 图示尺寸 | 118 × 72 mm |
| 最大压力 | 0.39 MPa @ 24°C |
| 最高应用温度 | 24°C |
| 最大正向压差 | 0.28 MPa @ 24°C |
| 选型边界 | TMAH 浓度与温度、膜材、析出、润湿、设备接口和验证方法须按具体项目确认；不能把一种膜材的适用性外推到全部配方 |
先确认树脂与溶剂体系、黏度、颗粒或凝胶目标、点供位置、流量、压降与设备接口，再比较 HDPE、Nylon 或 PTFE 选项。
必须给出浓度、温度、接触时间与设备条件，并评估膜材兼容性、析出、润湿和验证方法；不能仅按精度标签决定。
确认具体化学名称或 SDS、温压、流量、允许压差与清洁目标。页面列示应用方向不构成全部介质适用保证。
尺寸图用于设备空间和接口初筛；最终安装条件仍需结合现场管路与设备确认。
从介质、工艺位置、膜材与验证目标梳理光刻相关过滤需求。
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