用于 load lock、transfer 等真空腔体的快速排气扩散器；烧结镍膜额定 100 万次循环，入口最高 4 bar
资料来源：Entegris Chambergard FV50D XL Datasheet；复核日期：2026-09-04。额定循环次数不等于现场无条件寿命保证；具体腔体、排气配方、压力、温度、O 形圈与安装条件须按原厂资料和最终型号确认。
| 项目 | 说明 |
|---|---|
| 子类 | Gas Diffusers |
| 应用范围 | load lock、cooling、transfer 与 process chamber 的快速排气/回大气 |
| 材料 | 烧结镍膜过滤/扩散元件；316L 不锈钢外壳；氟橡胶 O 形圈 |
| 颗粒与洁净度 | 去除等级 ≥0.0015 µm；额定流量下，下游 >0.01 µm 颗粒 <0.03 个/L |
| 循环/压力 | 额定 1,000,000 次循环；出口接真空时最大入口压力 4 bar；最大压差 5 bar |
| 温度边界 | 带 O 形圈最高 100°C；不带 O 形圈最高 400°C |
| 连接/订货号 | 入口 1/4" VCR® 兼容公头；出口 ISO NW50 bulkhead；CG2 NDD 050R2 |
| 资料版本 | Entegris 4516-5804ENT-0323；2026-09-04 复核 |