选滤芯先选膜材——膜材决定化学兼容与析出水平,精度和尺寸都在其后。四大主力膜材速查:
UPE(超高分子量聚乙烯):溶剂型化学品与光化学品的首选,低析出、耐大多数溶剂,可做到极细精度(先进节点光刻胶过滤基本都是 UPE)。弱点:不耐高温与强氧化性介质。
PTFE:化学兼容之王,耐热硫酸、SPM、高浓度双氧水等强氧化高温介质,疏水膜也用于气体过滤。成本最高,亲水化处理后可用于水系。
尼龙(Nylon):对光刻胶中凝胶有独特的吸附去除能力(不只筛分),部分光刻胶应用与 UPE 配合使用;不耐强酸。
PP(聚丙烯):经济型选择,广泛用于预过滤、一般化学品与水处理,深层结构纳污量大;洁净度与精度上限低于 UPE/PTFE。
典型对应:光刻胶/显影液→UPE(或+尼龙);热硫酸/SPM→PTFE;稀酸碱清洗→PTFE 或改性 PES;超纯水→UPE/PES;CMP 浆料→深层复合结构(Planargard 等);大宗溶剂预过滤→PP。