UPE(超高分子量聚乙烯)膜是半导体湿法化学品过滤的主力膜材,具有优异的耐化学性与低析出特性。Microgard® 系列中,UPE Plus 版本在膜孔径分布控制与颗粒截留效率上做了升级,面向更严格的缺陷控制目标。
常规 UPE 滤芯适用于一般湿化学品(酸、碱、溶剂)的颗粒控制;UPE Plus 则更适合光刻胶、显影液等对微小颗粒和凝胶敏感的应用,以及工艺节点升级后原有过滤精度不满足良率要求的场景。
需要注意的是,不同系列滤芯的密封结构、接口形式与滤壳兼容性可能不同,不能只按"孔径相同、尺寸相同"直接替换。建议提供现用滤芯完整型号、滤壳型号与介质信息,由我们协助确认可替换型号与交期。