在半导体高纯气体系统中,"纯化"与"过滤"解决的是两类不同的污染问题:GateKeeper® 气体纯化器通过吸附/化学反应去除气体中的水氧、金属羰基化合物等气态分子杂质,出口纯度可达 pptV 级;而 Wafergard® 在线气体过滤器通过 PTFE 膜或全金属镍膜拦截颗粒物,保护工艺腔体与晶圆表面。
典型配置中,纯化器安装在气源或设备入口上游,过滤器安装在纯化器下游、尽量靠近使用点(POU),这样既能去除分子级杂质,又能拦截纯化器介质可能释放的微量颗粒以及管路施工残留。这也是两个产品经常被一起搜索、一起采购的原因。
选型时需要确认:气体种类(惰性 / 反应性 / 腐蚀性)、流量范围、工作压力、接口规格(VCR / 卡套等)以及安装空间。反应性和腐蚀性气体需特别注意膜材与结构材质兼容性,高温工况可考虑 Wafergard 高温系列。
如需确认现有系统的替换型号或新建管路的过滤纯化配置,欢迎联系我们,提供气体种类、流量、压力与接口即可获得选型建议。