CDS 系统的过滤配置目标:让化学品到达使用点时满足洁净规格,同时让维护成本可控。按流向的典型节点:
桶站/上料点:粗过滤(1–10 µm),拦截包装与接驳引入的大颗粒,保护下游泵阀。此处用 PP 深层滤芯即可,重点是纳污量。
日罐后/循环回路:主过滤节点,0.05–0.2 µm,循环设计让化学品反复通过过滤器,洁净度随循环次数提升。滤壳选单芯或多芯按循环流量定,腐蚀性介质用 PFA 滤壳。
VMB/分配阀箱前:可选保险级过滤,防止长管路析出物下行。
使用点(POU):最细精度(先进节点至 10 nm 级),小流量低滞留体积,靠近设备安装。
工程设计要点:①精度逐级收紧,不要一步到位(终端滤芯很贵,寿命靠上游保护);②每个过滤节点预留旁通与排气排液阀,支持在线换芯;③滤壳接口与管路体系统一(Flaretek 或 PrimeLock 二选一);④高风险管段用双层管。常见错误:循环回路精度选得比 POU 还细、滤壳无排气导致换芯带入气泡。
工程项目可提供 P&ID,我们按管段出过滤与管阀件整套配置清单。详见 CDS/SDS 工程专题。